離子源(英文名稱:Ionsource)是使中性原子或分子電離,并從中引出離子束流的裝置。它是各種類型的離子加速器、質(zhì)譜儀、電磁同位素分離器、離子注入機、離子束刻蝕裝置、離子推進器以及受控聚變裝置中的中性束注入器等設備的不可缺少的部件。氣體放電、電子束對氣體原子(或分子)的碰撞,帶電粒子束使工作物質(zhì)濺射以及表面電離過程都能產(chǎn)生離子,并被引出成束。根據(jù)不同的使用條件和用途,已研制出多種類型的離子源。使用較廣的有弧放電離子源、PIG離子源、雙等離子體離子源和雙彭源這些源都是以氣體放電過程為基礎的,常被籠統(tǒng)地稱為弧源。高頻離子源則是由氣體中的高頻放電來產(chǎn)生離子的,也有很廣的用途。新型重離子源的出現(xiàn),使重離子的電荷態(tài)明顯提高,其中較成熟的有電子回旋共振離子源(ECR)和電子束離子源(EBIS)。負離子源性能較好的有轉(zhuǎn)荷型和濺射型兩種。在一定條件下,基于氣體放電過程的各種離子源,都能提供一定的負離子束流。離子源是一門具有較廣應用領域的學科,在許多基礎研究領域如原子物理、等離子化學、核物理等研究中,離子源都是十分重要不可缺少的設備。卷繞鍍膜機在安裝時有什么注意事項?江蘇卷繞鍍膜機性能
通常將欲沉積的材料制成板材──靶,固定在陰極上?;糜谡龑Π忻娴年枠O上,距靶幾厘米。系統(tǒng)抽至高真空后充入10~1帕的氣體(通常為氬氣),在陰極和陽極間加幾千伏電壓,兩極間即產(chǎn)生輝光放電。放電產(chǎn)生的正離子在電場作用下飛向陰極,與靶表面原子碰撞,受碰撞從靶面逸出的靶原子稱為濺射原子,其能量在1至幾十電子伏范圍。濺射原子在基片表面沉積成膜。與蒸發(fā)鍍膜不同,濺射鍍膜不受膜材熔點的限制,可濺射W、Ta、C、Mo、WC、TiC等難熔物質(zhì)。濺射化合物膜可用反應濺射法,即將反應氣體(O、N、HS、CH等)加入Ar氣中,反應氣體及其離子與靶原子或濺射原子發(fā)生反應生成化合物(如氧化物、氮化物等)而沉積在基片上。沉積絕緣膜可采用高頻濺射法?;b在接地的電極上,絕緣靶裝在對面的電極上。高頻電源一端接地,一端通過匹配網(wǎng)絡和隔直流電容接到裝有絕緣靶的電極上。接通高頻電源后,高頻電壓不斷改變極性。等離子體中的電子和正離子在電壓的正半周和負半周分別打到絕緣靶上。由于電子遷移率高于正離子,絕緣靶表面帶負電,在達到動態(tài)平衡時,靶處于負的偏置電位,從而使正離子對靶的濺射持續(xù)進行。采用磁控濺射可使沉積速率比非磁控濺射提高近一個數(shù)量級。什么是卷繞鍍膜機概念卷繞鍍膜機的運用領域。
離子鍍蒸發(fā)物質(zhì)的分子被電子碰撞電離后以離子沉積在固體表面,稱為離子鍍。這種技術是D.麥托克斯于1963年提出的。離子鍍是真空蒸發(fā)與陰極濺射技術的結(jié)合。一種離子鍍系統(tǒng)如圖4[離子鍍系統(tǒng)示意圖],將基片臺作為陰極,外殼作陽極,充入惰性氣體(如氬)以產(chǎn)生輝光放電。從蒸發(fā)源蒸發(fā)的分子通過等離子區(qū)時發(fā)生電離。正離子被基片臺負電壓加速打到基片表面。未電離的中性原子(約占蒸發(fā)料的95%)也沉積在基片或真空室壁表面。電場對離化的蒸氣分子的加速作用(離子能量約幾百~幾千電子伏)和氬離子對基片的濺射清洗作用,使膜層附著強度**提高。離子鍍工藝綜合了蒸發(fā)(高沉積速率)與濺射(良好的膜層附著力)工藝的特點,并有很好的繞射性,可為形狀復雜的工件鍍膜。光學鍍膜材料(純度:)高純氧化物一氧化硅、SiO,二氧化鉿、HfO2,二硼化鉿,氯氧化鉿,二氧化鋯、ZrO2,二氧化鈦、TiO2,一氧化鈦、TiO,二氧化硅、SiO2,三氧化二鈦、Ti2O3,五氧化三鈦、Ti3O5,五氧化二鉭、Ta2O5,五氧化二鈮、Nb2O5,三氧化二鋁、Al2O3,三氧化二鈧、Sc2O3,三氧化二銦、In2O3,二鈦酸鐠、Pr(TiO3)2,二氧化鈰、CeO2,氧化鎂、MgO,三氧化鎢、WO3,氧化釤、Sm2O3,氧化釹、Nd2O3。
用高能粒子轟擊固體表面時能使固體表面的粒子獲得能量并逸出表面,沉積在基片上。電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰極靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發(fā)生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產(chǎn)生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場,被束縛在靶表面特定區(qū)域,增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現(xiàn)高速率濺射。是制備低維度,小尺寸納米材料器件的必備實驗手段,廣泛應用于集成電路,光子晶體,低維半導體等領域。主要用于濺射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金屬薄膜,AlN、SiO2等介質(zhì)薄膜。上海卷繞鍍膜機哪家靠譜?
目前,市場上的真空內(nèi)鍍膜機只有一個工作室,其需要經(jīng)過物件安裝、關閉鐘罩、抽氣、蒸發(fā)、真空處置、排氣、打開鐘罩、取下物件的系列過程,才能完成鍍膜工作;而在這種真空內(nèi)鍍膜機處于工作狀態(tài)時,工作人員必須堅守崗位,注意觀察,把握好鍍膜時間,并等待下一次操作,這樣浪費了人力,工作效率不高。目的是提供工作效率高的一種真空鍍膜機。一種真空鍍膜機,本系統(tǒng)由真空鍍膜系統(tǒng)和手套箱系統(tǒng)集成而成,可在高真空蒸鍍腔室中完成薄膜蒸鍍,并在手套箱高純惰性氣體氛圍下進行樣品的存放、制備以及蒸鍍后樣品的檢測。蒸發(fā)鍍膜與手套箱組合,實現(xiàn)蒸鍍、封裝、測試等工藝全封閉制作,使整個薄膜生長和器件制備過程高度集成在一個完整的可控環(huán)境氛圍的系統(tǒng)中,消除有機大面積電路制備過程中大氣環(huán)境中不穩(wěn)定因素影響,保障了高性能、大面積有機光電器件和電路的制備。提高了工作效率,同時工作室與工作室之間互相通連,其空氣在相互排放后,也能減少真空抽氣時間,節(jié)約了生產(chǎn)成本。上海卷繞鍍膜機價格?品質(zhì)卷繞鍍膜機電話
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近年來各種防曬玻璃、自潔玻璃、保溫隔熱玻璃、防輻射玻璃等等漸漸進入消費者的視線。其實這些產(chǎn)品也沒有這么神秘,這些有特異功能的玻璃都是經(jīng)過鍍膜工藝鍍上去的,鍍膜的方式也有很多種,有的玻璃在出廠前就已經(jīng)經(jīng)過鍍膜,有的是后期通過玻璃鍍膜液涂上去的,都能達到很好的效果。鍍膜玻璃,借用百度百科的介紹就是:鍍膜玻璃(Coatedglass)也稱反射玻璃。鍍膜玻璃是在玻璃表面涂鍍一層或多層金屬、合金或金屬化合物薄膜,以改變玻璃的光學性能,滿足某種特定要求。鍍膜玻璃按產(chǎn)品的不同特性,可分為以下幾類:熱反射玻璃、低輻射玻璃(Low-E)、導電膜玻璃等。那么用在門窗上的鍍膜玻璃,主要是采用國際先進的磁控真空濺射技術,在門窗玻璃內(nèi)表層鍍上6-20層納米級金屬化合物薄膜,讓其性能得到長久有效發(fā)揮。而鍍膜玻璃和普通玻璃對比的優(yōu)勢有哪些呢?01有效阻隔太陽能在同樣條件下,室內(nèi)溫度低5~10℃,到達舒適的時間減少20%(空調(diào)開),電費節(jié)省3%~8%。02不容易沾灰塵普通玻璃室外面很容易就沾上了厚厚的一層灰塵,不時需要擦洗一遍。而經(jīng)過鍍膜的玻璃,它的表面黏著性差,不管是灰塵還是臟雨水,都很難吸附在玻璃上面,達到良好的防塵防污效果。江蘇卷繞鍍膜機性能
無錫光潤真空科技有限公司(簡稱“光潤真空”)是從事真空鍍膜設備研發(fā)、設計、銷售、制造、服務于一體的綜合性科技公司。
光潤真空技術團隊具有20多年真空鍍膜設備研制和工藝開發(fā)的經(jīng)驗,公司開發(fā)的GRJR系列、GRDR系列卷繞鍍膜設備等在國內(nèi)處于**水平。公司產(chǎn)品覆蓋磁控濺射卷繞鍍膜設備、電子束蒸發(fā)卷繞鍍膜設備、蒸發(fā)鍍膜**設備、磁控濺射真空鍍膜**設備、多弧離子真空鍍膜**設備等。
公司產(chǎn)品出口法國、巴基斯坦、越南、印尼、韓國、泰國、西班牙、克羅地亞、波蘭、土耳其、巴西、烏克蘭等地。公司堅持“表面處理整體解決供應商”的經(jīng)營戰(zhàn)略,推行“誠信、創(chuàng)新、環(huán)?!钡慕?jīng)營理念,竭誠為國內(nèi)外用戶服務。