微泰的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體 PVD CVD 設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)，起著將工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的關(guān)鍵作用，就像一條溝槽。這些閥門能極大程度地減少閘板開閉時造成的真空壓力變化，使腔室內(nèi)的真空壓力得以穩(wěn)定維持。負(fù)責(zé)門控半導(dǎo)體晶圓轉(zhuǎn)移的傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥分為 I 型和 L 型兩種。其產(chǎn)品范圍包括多種尺寸規(guī)格，如 32 x 222、46 x 236、50 x 336、56 x 500 等。維護(hù)前使用周期可達(dá) 100 萬次，響應(yīng)時間為 2 秒，并可根據(jù)客戶要求定制法蘭。這些轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品有鋁制或不銹鋼制兩種，用于傳輸晶圓小于 450 毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。I 型的特點(diǎn)是葉片能在垂直方向上快速移動，保證腔室壓力完美維持，它采用具有 LM 導(dǎo)向系統(tǒng)和單連桿的內(nèi)部機(jī)構(gòu)，確保高耐用性和長壽命。L 型轉(zhuǎn)移閥產(chǎn)品則設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù)。I 型和 L 型轉(zhuǎn)移閥在閘門開啟和關(guān)閉過程中能極大限度地減少振動，且對溫度變化非常穩(wěn)定，能確保較長的使用壽命。此外，它們即使長時間使用，產(chǎn)生的顆粒也很少，能避免晶圓缺陷和主器件污染。微泰不斷創(chuàng)新，在壓力控制和控制閥制造方面持續(xù)努力，專注于真空閘閥的研發(fā)。微泰轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。轉(zhuǎn)移閘閥TRANSFER VALVE

閘閥是啟閉件(閘板)，由閥桿帶動，沿閥座(密封面)做直線升降運(yùn)動的閥門。一般，閘閥不可用來調(diào)節(jié)流量，只能作為截?cái)嘌b置使用，要么完全開啟，要么完全關(guān)閉。在各種類型的閥門中，閘閥是應(yīng)用很多的一種。既適用于常溫和常壓工況，也適用于高溫及低溫和高壓及低壓工況，并可以通過選用不同的材質(zhì)，適用于各種不同的介質(zhì)中。閘閥具有如下優(yōu)點(diǎn)：①流體阻力小。閘閥閥體內(nèi)部介質(zhì)通道是直通的，介質(zhì)流經(jīng)閘閥時不改變其流動方向，因而流體阻力較小。②結(jié)構(gòu)長度(與管道相連接的兩端面間的距離)較小。由于閘板呈圓盤狀，是垂直置于閥體內(nèi)的，而截止閥閥瓣(也呈圓盤狀)是平行置于閥體內(nèi)的，因而與截止閥相比，其結(jié)構(gòu)長度較小。如PN16、DN150的截止閥，其結(jié)構(gòu)長度為480mm，而同一參數(shù)的閘閥結(jié)構(gòu)長度只有350mm。③啟閉較省力。啟閉時閘板運(yùn)動方向與介質(zhì)流動方向相垂直，而截止閥閥瓣通常在關(guān)閉時的運(yùn)動方向與閥座處介質(zhì)流動方向相反，因而必須克服介質(zhì)的作用力。所以與截止閥相比，閘閥的啟閉較為省力。④介質(zhì)流動方向不受限制。介質(zhì)可從閘閥兩側(cè)任意方向流過閘閥，均能達(dá)到接通或截?cái)嗟哪康?。便于安裝，適用于介質(zhì)的流動方向可能改變的管路中。極高真空閘閥楔式閘閥閘閥按閘板結(jié)構(gòu)形式分為單閘板和雙閘板兩種。

微泰，專門用閘閥應(yīng)用于? Evaporation? Sputtering? Diamond growth by MW-PACVD? PECV? PVD? Coating? Etch? Diffusion（擴(kuò)散）?CVD等設(shè)備上。可替代VAT閘閥。期特點(diǎn)是*使用維修配件工具包易于維護(hù)*將電磁閥和位置傳感器連接到15針D-Sub*鎖定功能*限位開關(guān)*?速度控制器&電磁閥（2Port+N2Port）用不銹鋼管連接（φ6）*應(yīng)用:泵隔離,產(chǎn)品工藝水平要求高的地方。專門用閘閥規(guī)格如下：驅(qū)動方式：氣動、法蘭尺寸：4英寸~ 8英寸、法蘭類型：ISO, JIS, ASA, CF、連接方式：焊接波紋管、閥門密封：氟橡膠O型圈/Kalrez O型環(huán)/EPDM、閥蓋密封：Viton O型圈、響應(yīng)時間：≤ 0.3 sec ~2 sec、操作壓力范圍：1.5? ~ 6? : 1×10-10 mbar to 1400 mbar，8? ~ 12? : 1×10-10 mbar to 1200 mbar 、開始時的壓差：≤ 30 mbar、閘門的差動壓力：4? ~ 6? : ≤ 1400 mbar / 8? ~ 14? ≤ 1200 mbar、泄漏率：< 1×10 -10 Mbar/秒、初次維護(hù)前可用次數(shù)：200,000次、閥體溫度≤ 200 °、CTemperature for Actuator≤ 80 °C、烤爐溫度≤ 150 °C、材料：閥體(不銹鋼304)/驅(qū)動器(鋁6061陽極氧化)、安裝位置：任意、操作壓力(N2)：4 ~ 7 bar。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、Micron,Global Foundries、英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體業(yè)績。

平板閘閥的選用原則1.石油、天然氣的輸送管線，選用單閘板和雙閘板的平板閘閥。如需清掃管線的，選用單閘板和雙閘板帶導(dǎo)流孔的明桿平板閘閥。2.成品油的輸送管線和貯存設(shè)備，選用無導(dǎo)流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。3.石油、天然氣的開采井口裝置，選用暗桿浮動閥座帶導(dǎo)流孔的單閘板或雙閘板的平板閘閥。4.帶有懸浮顆粒介質(zhì)的管道，選用刀形平板閘閥。5.城市煤氣輸送管線，選用單閘板或雙閘板軟密封明桿平板閘閥。6.城市自來水工程，選用單閘板或雙閘板無導(dǎo)流孔明桿平板閘閥。需要指出的是：所有的閘閥均不允許用于作調(diào)節(jié)介質(zhì)流量用，因此，在開啟時必須將閘板全部提升到通道上方。當(dāng)真空閥打開時，閘門移出流路，使氣體以高電導(dǎo)率通過。

微泰半導(dǎo)體主加工設(shè)備腔內(nèi)精確壓力控制的閘閥，控制系統(tǒng)閘閥，控制閘閥、控制系統(tǒng)插板閥、控制系統(tǒng)閘閥具有可隔離的閘閥，以滑動方式操作，可以在高真空環(huán)境中實(shí)現(xiàn)精確的壓力控制。如半導(dǎo)體等高真空工藝應(yīng)用?？刂葡到y(tǒng)閘閥是自動控制到用戶指定的值，通過控制器和步進(jìn)電機(jī)保持一致的真空壓力。微泰半導(dǎo)體閘閥被廣泛應(yīng)用于 Evaporation（蒸發(fā)）、Sputtering（濺射）、Diamond growth by MW-PACVD（通過 MW-PACVD 生長金剛石）、PECV、PVD(Cluster,Roll to Roll)（集群、卷對卷）、Coating（涂層）、Etch（蝕刻）、Diffusion（擴(kuò)散）、CVD（化學(xué)氣相沉積）等設(shè)備上，可替代 HVA 閘閥、VA T閘閥。有中國臺灣Micron、UMC、AKT、新加坡Micron,Global Foundries、馬來西亞的英菲尼亞半導(dǎo)體、日本Micron、三星半導(dǎo)體和其它的設(shè)備使用業(yè)績。該閘閥由上海安宇泰環(huán)保科技有限公司提供。真空閘閥廣泛應(yīng)用于各種真空系統(tǒng)和工藝過程中，如半導(dǎo)體生產(chǎn)、電子設(shè)備制造、科研實(shí)驗(yàn)、航空航天等領(lǐng)域。UHV閘閥BUTTERFLY VALVE

真空閘閥的設(shè)計(jì)具有獨(dú)特的特征。它們具有堅(jiān)固的結(jié)構(gòu)，通常使用不銹鋼或鋁等材料來抵抗真空條件。轉(zhuǎn)移閘閥TRANSFER VALVE

微泰,傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥是安裝在半導(dǎo)體PVDCVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它充當(dāng)將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽。I型和L型轉(zhuǎn)移閥是用于半導(dǎo)體PVD CVD設(shè)備工藝模塊和工藝室之間的閥門系統(tǒng)。它們的作用是將位于工藝模塊中的晶圓轉(zhuǎn)移到工藝室的溝槽，并極大限度地減少由于閘板打開和關(guān)閉造成的真空壓力變化，以維持腔室內(nèi)的真空壓力。I型轉(zhuǎn)移閥由鋁或不銹鋼制成，用于傳輸晶圓小于450毫米的半導(dǎo)體系統(tǒng)和隔離工藝室。其特點(diǎn)是葉片在垂直方向上快速移動，以確保完美的腔室壓力維持。而L型轉(zhuǎn)移閥也由鋁或不銹鋼制造，其特點(diǎn)是設(shè)計(jì)緊湊，易于維護(hù)。L型轉(zhuǎn)移閥的閘門在兩個階段從垂直到水平方向移動，以確保完美的腔室壓力維護(hù)。這兩種類型的轉(zhuǎn)移閥都具有高耐用性和長壽命的優(yōu)點(diǎn)，并且在閘門開啟和關(guān)閉過程中極大限度地減少了振動，對溫度變化也非常穩(wěn)定，以確保較長的使用壽命。如果您需要了解更多關(guān)于微泰傳輸閥、轉(zhuǎn)換閥、輸送閥、轉(zhuǎn)移閥的信息，請聯(lián)系上海安宇泰環(huán)保科技有限公司。轉(zhuǎn)移閘閥TRANSFER VALVE