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浙江熱蒸發(fā)真空鍍膜設備怎么用

來源: 發(fā)布時間:2024-09-28

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本實用新型涉及真空設備領域,尤其涉及一種真空反應腔室和真空鍍膜設備。背景技術:目前,真空設備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設備已被廣泛應用于各種產品的生產過程中,如光伏電池、半導體器件等等。真空設備中(如pecvd設備、pvd設備)的寶來利真空反應室通常為單個反應腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設置于該單個反應腔室內,這就造成反應腔室內的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設置單個反應腔室時,由于工藝反應區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應腔室,以解決現(xiàn)有真空設備中由于只設置一個反應腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應腔室的真空鍍膜設備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術方案如下:一種真空反應腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。 品質真空鍍膜設備膜層耐磨損,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,有需要可以來咨詢考察!

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提升了清理效率。附圖說明圖1為本實用新型結構示意圖。圖2為本實用新型的結構示意俯視圖。圖中:1控制箱、2前罐體、3后罐體、4清理裝置、41通孔、42噴頭、43刮板、44u形架、5驅動裝置、51半圓槽、52半圓板、53轉軸通孔、54減速電機、55防護罩、6泵、7集料盒、71出料口、72外螺管、73收集盒、8清洗箱。具體實施方式下面將結合本實用新型實施例中的附圖,對本實用新型實施例中的技術方案進行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實施例**是本實用新型一部分實施例,而不是全部的實施例?;诒緦嵱眯滦椭械膶嵤├绢I域普通技術人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型保護的范圍。請參閱圖1、圖2,本實用新型提供一種技術方案:一種磁控濺射真空鍍膜機,包括控制箱1,控制箱1的上表面后側固定安裝后罐體3,后罐體3的前表面鉸接有前罐體2,后罐體3的前表面上側固定安裝有驅動裝置5,驅動裝置5,驅動裝置5的下側安裝有清理裝置4,清理裝置4包括u形架44,u形架44的下端通過軸承轉動安裝在后罐體3的內部下側,u形架44的外側固定安裝有刮板43,刮板43的外側與后罐體3、前罐體2的內表面緊密貼合,后罐體3和前罐體2的上表面外側均勻開設有通孔41。 寶來利真空鍍膜設備性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來考察合作!江蘇2350真空鍍膜設備廠商

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電磁鐵122頂出磁片223,頂蓋22離開出氣管11口,空氣及粉塵從出氣管11排出,當頂蓋22的動觸點224與靜觸點123接觸時,氣缸53通電,伸出伸縮軸,利用空氣壓力將擠壓管52中的水噴出,粉塵遇水沉降落入沉降管51底部,鍍膜機1內達到相應的真空度時,反方向按下開關13,電磁鐵122在換向器的作用下電流改變,磁極改變,產生與磁片223相反的磁極,電磁鐵122與磁片223相吸,此時真空泵4斷電,動、靜觸點斷開,氣缸53斷電,頂蓋22緊緊地蓋在出氣管11口上。上述實施例中,開關13為雙向開關,往一方向按下時,真空泵4與電磁鐵122均通電,往另一方向按下時,真空泵4斷電,電磁鐵122在換向器的作用下電流方向發(fā)生改變,產生相反的磁極。在進一步的實施例中,結合圖2可得,寶來利真空連接套12遠離鍍膜機1一側設有寶來利真空安裝位121;寶來利真空安裝位121位于出氣管11兩側;寶來利真空安裝位121內固定有電磁鐵122;頂蓋22靠近鍍膜機1一側設有第二安裝位222;第二安裝位222與寶來利真空安裝位121位置相對應;第二安裝位222內固定有磁片223;電磁鐵122與磁片223分別通過膠水固定在寶來利真空安裝位121以及第二安裝位222中;利用磁鐵“同極相斥、異極相吸”的原理,控制頂蓋22的關閉和打開。 浙江熱蒸發(fā)真空鍍膜設備怎么用