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江蘇防水真空鍍膜機供應(yīng)商

來源: 發(fā)布時間:2024-07-25

本實用新型涉及真空設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種真空反應(yīng)腔室和真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù):目前,真空設(shè)備,例如,pecvd(plasmaenhancedchemicalvaporde****ition,等離子體增強化學(xué)氣相沉積)和pvd(physicalvaporde****ition,物寶來利相沉積)設(shè)備已被廣泛應(yīng)用于各種產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中,如光伏電池、半導(dǎo)體器件等等。真空設(shè)備中(如pecvd設(shè)備、pvd設(shè)備)的寶來利真空反應(yīng)室通常為單個反應(yīng)腔室,傳動部件和升降部件等機械模塊部件以及濺射靶材等工藝模塊部件均設(shè)置于該單個反應(yīng)腔室內(nèi),這就造成反應(yīng)腔室內(nèi)的工藝環(huán)境不夠封閉,容易造成工藝環(huán)境污染。另外,設(shè)置單個反應(yīng)腔室時,由于工藝反應(yīng)區(qū)域較大,容易造成工藝所需原料的浪費,同時,還會造成工藝反應(yīng)過程中溫度波動大,不可控因素較多,從而影響工藝過程。技術(shù)實現(xiàn)要素:本實用新型的寶來利真空目的在于提供一種真空反應(yīng)腔室,以解決現(xiàn)有真空設(shè)備中由于只設(shè)置一個反應(yīng)腔室造成的工藝環(huán)境易被污染、工藝原料易被浪費、環(huán)境溫度可控性低等問題。本實用新型的第二目的在于提供一種包含本實用新型真空反應(yīng)腔室的真空鍍膜設(shè)備。為達到上述目的,本實用新型采用的技術(shù)方案如下:一種真空反應(yīng)腔室,包括:用于提供真空環(huán)境的外腔體。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,五金制品鍍膜,有需要可以咨詢!江蘇防水真空鍍膜機供應(yīng)商

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還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖:圖1為本實施例中一種真空鍍膜設(shè)備的主視示意圖;圖2為本實施例中圖1中a處的放大示意圖;圖3為本實施例中圖1中b處的放大示意圖;圖4為本實施例中頂蓋的結(jié)構(gòu)示意圖。具體實施方式為了使本實用新型實施例的目的、技術(shù)方案和***更加清楚,下面將結(jié)合本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整的描述,顯然,所描述的實施例是本實用新型的部分實施例,而不是全部實施例?;诒緦嵱眯滦偷膶嵤├?,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有付出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例,都屬于本實用新型的保護范圍。本實用新型較佳實施例的如圖1和圖2所示,構(gòu)造一種真空鍍膜設(shè)備,包括鍍膜機1;鍍膜機1底部設(shè)有出氣管11;出氣管11上設(shè)有寶來利真空連接套12;寶來利真空連接套12上設(shè)有第二連接套2;第二連接套2中設(shè)有頂蓋22,頂蓋22與寶來利真空連接套12之間通過磁吸連接;第二連接套2遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有抽氣管3;抽氣管3遠離第二連接套2一側(cè)設(shè)有真空泵4;抽氣管3內(nèi)靠近真空泵4一側(cè)設(shè)有寶來利真空過濾網(wǎng)41;抽氣管3遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有沉降組件;在抽真空時,按下開關(guān)13,啟動真空泵4,電磁鐵122通電產(chǎn)生與磁片223相同的磁性,利用磁鐵的原理。磁控濺射真空鍍膜機工廠直銷品質(zhì)真空鍍膜機,請選丹陽市寶來利真空機電有限公司,可鍍爐內(nèi)金,有需要來咨詢!

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結(jié)合圖1和圖2所示,頂蓋22遠離鍍膜機1一側(cè)設(shè)有動觸點224;第二連接套2內(nèi)側(cè)壁上設(shè)有靜觸點123,靜觸點123位于寶來利真空凹槽21與抽氣管3之間;動觸點224與外部電源電性連接;靜觸點123與氣缸53電性連接;利用動觸點224與靜觸點123的接觸來控制氣缸53的運行,防止氣缸53長時間運行,節(jié)約能源。在進一步的實施例中,結(jié)合圖1所示,鍍膜機1靠近出氣管11的側(cè)壁上設(shè)有開關(guān)13及換向器;開關(guān)13分別與換向器及真空泵4電性連接;換向器與電磁鐵122電性連接;利用換向器改變電磁鐵122電流的方向來改變磁極,進行頂蓋22的打開與閉合。在進一步的實施例中,結(jié)合圖4所示,頂蓋22側(cè)壁上設(shè)有凹孔225;便于在抽氣時氣體的排出。應(yīng)當(dāng)理解的是,對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說,可以根據(jù)上述說明加以改進或變換,而所有這些改進和變換都應(yīng)屬于本實用新型所附權(quán)利要求的保護范圍。

避免工藝污染,提供工藝質(zhì)量。由于設(shè)置雙腔室,作為工藝反應(yīng)區(qū)的內(nèi)反應(yīng)腔20相對較小,因此可以有效減少工藝原料的浪費,降低原料的使用成本,提高原料的利用率。同時,由于工藝反應(yīng)區(qū)的減少,可以有效控制該區(qū)域內(nèi)的溫度,使該區(qū)域內(nèi)的工藝溫度更易于均勻化,進而提高工藝質(zhì)量。需要說明的是,內(nèi)反應(yīng)腔20位于外腔體10內(nèi),但內(nèi)反應(yīng)腔20和外腔體10處于可連通狀態(tài),并非完全隔絕,當(dāng)對外腔體10進行抽真空處理時,內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)也同時進行抽真空操作。外腔體10和內(nèi)反應(yīng)腔20處于相互連通的狀態(tài),只是在外腔體10內(nèi)劃分出了一個立體空間以進行工藝反應(yīng)。本實施方式中,參照圖2,所述外腔體10包括寶來利真空底板11和沿所述寶來利真空底板11周向設(shè)置的寶來利真空側(cè)壁12;所述內(nèi)反應(yīng)腔20包括第二底板21和沿所述第二底板21周向設(shè)置的第二側(cè)壁22;所述寶來利真空底板11與所述第二底板21相互分離設(shè)置,所述寶來利真空側(cè)壁12與所述第二側(cè)壁22相互分離設(shè)置;寶來利真空側(cè)壁12與蓋設(shè)于所述寶來利真空側(cè)壁12上的密封蓋板30密閉連接,所述第二側(cè)壁22與所述密封蓋板30相互分離設(shè)置。該結(jié)構(gòu)中,相當(dāng)于用第二底板21和第二側(cè)壁22在外腔體10中分割出一個更小的空間。寶來利螺桿真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,細膩有光澤,有需要可以來咨詢!

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真空鍍膜機在使用過程中需要定期進行哪些維護和保養(yǎng)工作?這些工作對真空鍍膜機的性能和壽命有何影響?真空鍍膜機在使用過程中需要定期進行的維護和保養(yǎng)工作主要包括以下幾個方面:清洗設(shè)備:定期清洗真空鍍膜機內(nèi)部,特別是鍍膜室、蒸發(fā)舟等關(guān)鍵部件,以去除積累的塵埃、殘留物和其他雜質(zhì)。這有助于保持設(shè)備的清潔度,提高膜層的均勻性和質(zhì)量。檢查真空系統(tǒng):定期檢查真空系統(tǒng)的密封性和抽氣效率,確保鍍膜過程中能夠達到所需的真空度。這有助于減少氣體殘留對膜層質(zhì)量的影響。更換易損件:根據(jù)設(shè)備使用情況和廠家建議,定期更換易損件,如蒸發(fā)舟、熱屏蔽板等。這有助于確保設(shè)備的穩(wěn)定性和延長使用壽命。校準設(shè)備參數(shù):定期對真空鍍膜機的各項參數(shù)進行校準,包括真空度、沉積速度、溫度等。這有助于確保設(shè)備處于比較好工作狀態(tài),提高膜層的均勻性和穩(wěn)定性。這些維護和保養(yǎng)工作對真空鍍膜機的性能和壽命具有重要影響。寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定,膜層均勻耐磨,餐具鍍膜,有需要可以咨詢!浙江燈管真空鍍膜機推薦貨源

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