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因此，即使外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20在氣路上相互連通，但外腔體10中的污染物也很難進(jìn)入到內(nèi)反應(yīng)腔20中，從而可以保證內(nèi)反應(yīng)腔20始終保持清潔的工藝環(huán)境。由此，外腔體10與所述內(nèi)反應(yīng)腔20可共用一套抽真空系統(tǒng)。由于外腔體10與內(nèi)反應(yīng)腔20之間應(yīng)屬于相互連通的氣路環(huán)境，因此，當(dāng)對外腔體10進(jìn)行抽真空處理時，內(nèi)反應(yīng)腔20也同時進(jìn)行抽真空處理。本實施方式中，自動門設(shè)置于所述第二側(cè)壁22上，所述外腔體10內(nèi)設(shè)有傳送裝置13，所述工件自所述傳送裝置13經(jīng)所述自動門23傳遞至所述內(nèi)反應(yīng)腔20中。自動門控制器控制自動門的啟閉。抽真空完成后，自動門控制器檢測傳送裝置上是否有工件存在，經(jīng)檢測若有工件存在，則控制自動門打開，工件在傳送裝置的作用下進(jìn)入內(nèi)反應(yīng)腔中;然后自動門控制器再控制自動門關(guān)閉?？梢岳斫獾氖?，傳送裝置包括轉(zhuǎn)動軸和套設(shè)在轉(zhuǎn)動軸上的傳送帶，以及驅(qū)動轉(zhuǎn)動軸旋轉(zhuǎn)的驅(qū)動機構(gòu)，例如電機。其中，傳送帶的設(shè)置高度與內(nèi)反應(yīng)腔中的工件反應(yīng)載臺相對應(yīng)。繼續(xù)參照圖2，為了保證作為工藝區(qū)域的內(nèi)反應(yīng)腔20的環(huán)境溫度恒溫可控，第二底板21和/或所述第二側(cè)壁22上設(shè)有用于對所述內(nèi)反應(yīng)腔20進(jìn)行控溫的溫控裝置，以使內(nèi)反應(yīng)腔20內(nèi)的溫度始終處于所需的工藝溫度范圍內(nèi)。江蘇增加硬度真空鍍膜機怎么用寶來利真空鍍膜機性能穩(wěn)定，膜層均勻耐磨，裝飾鍍膜，有需要可以咨詢！

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真空鍍膜設(shè)備在操作過程中，膜層不均勻的可能原因主要包括靶材與基片的距離不當(dāng)、磁場設(shè)計不均勻以及乙炔引入不均勻等。具體內(nèi)容如下：距離問題：靶材與待鍍基片之間的距離若未優(yōu)化，會影響濺射的均勻性。磁場設(shè)計問題：磁控濺射的均勻性在很大程度上依賴于磁場的設(shè)計，如果磁場分布和強度不均，則會導(dǎo)致膜層均勻度不佳。氣體引入問題：如乙炔在反應(yīng)濺射過程中引入不均，也會導(dǎo)致沉積膜層的質(zhì)量在基片上存在差異。為了解決這些問題，可以考慮以下方案：調(diào)整靶材與基片間的距離：確保兩者間距離適宜，以便改善濺射的均勻性。優(yōu)化磁場設(shè)計：通過改善和優(yōu)化磁場的分布及強度，提高靶材表面離子轟擊的均勻性，進(jìn)而提升膜層均勻度。旋轉(zhuǎn)基片或靶材：在濺射過程中，改變它們的相對位置和角度，使得材料能夠更均勻地分布在基片上。品質(zhì)刀具模具真空鍍膜機，請選丹陽市寶來利真空機電有限公司，有需要可以來咨詢考察！江蘇ITO真空鍍膜機哪家便宜

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本實用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)：真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料，使其蒸發(fā)并凝結(jié)于鍍件(金屬、半導(dǎo)體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法，例如，真空鍍鋁、真空鍍鉻等，真空鍍膜是真空應(yīng)用領(lǐng)域的一個重要方面，它是以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，利用物理或化學(xué)方法，并吸收電子束、分子束、離子束、等離子束、射頻和磁控等一系列新技術(shù)，為科學(xué)研究和實際生產(chǎn)提供薄膜制備的一種新工藝，簡單地說，在真空中把金屬、合金或化合物進(jìn)行蒸發(fā)或濺射，使其在被涂覆的物體(稱基板、基片或基體)上凝固并沉積的方法，稱為真空鍍膜。現(xiàn)有的真空鍍膜設(shè)備雖然能夠完成鍍膜的工作，但是當(dāng)鍍膜公祖完成后，由于腔體內(nèi)部仍然處于真空狀態(tài)，與外界環(huán)境具有一定的壓強差，若過早打開密封門，坩堝溫度依然很高，鍍膜材料容易發(fā)生噴濺，造成危險，若等坩堝降溫后再打開密封門，會耗費較多的時間，影響工作效率。技術(shù)實現(xiàn)要素：針對現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實用新型提供了一種高分子等離子表面真空鍍膜設(shè)備，解決了若過早打開密封門，鍍膜材料容易發(fā)生噴濺，造成危險，若等坩堝降溫后再打開密封門，會耗費較多的時間。江蘇1350真空鍍膜機怎么用