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江西馬波斯傳感器原理

來(lái)源: 發(fā)布時(shí)間:2024-08-26

非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承,由于工作在平面度較好的花崗巖表面,因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性,特別適用于高精度檢測(cè)以及超精加工領(lǐng)域。對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測(cè)量?直線電機(jī)高精度龍門(mén)運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量?共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式?直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測(cè)量科技為您提供專(zhuān)業(yè)的光譜共焦傳感器,歡迎您的來(lái)電!江西馬波斯傳感器原理

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所有不同波長(zhǎng)的可見(jiàn)光重疊在一起,形成白光。人類(lèi)肉眼可見(jiàn)光的波長(zhǎng)范圍從400nm(藍(lán)光)到700nm(紅光)。通過(guò)透鏡,不同顏色的光不會(huì)聚焦到同一個(gè)點(diǎn)上。這種現(xiàn)象稱(chēng)為色差透鏡錯(cuò)誤或者叫色差透鏡偏差。眾所周知,自然界的日光屬白光一種,白光不是純潔的光,而是許多單色光組成的。光在不同介質(zhì)中傳播可能會(huì)有角度偏差的現(xiàn)象產(chǎn)生,而實(shí)際的白光照射下不同介質(zhì)將有很多單線光的折射。光學(xué)材料(透鏡)對(duì)于不同單色光的折射率是不同的,也就是折射角度不同波長(zhǎng)愈短折射率愈**長(zhǎng)愈長(zhǎng)折射率愈?。ㄟ@也是不同望遠(yuǎn)鏡所謂的色差不同的原因),同一薄透鏡對(duì)不同單色光,每一種單色光都有不同的焦距,按色光的波長(zhǎng)由短到長(zhǎng),它們的像點(diǎn)離開(kāi)透鏡由近到遠(yuǎn)地排列在光軸上(不同的單色光的波長(zhǎng)是不同的)這樣成像就產(chǎn)生了所謂色差透鏡錯(cuò)誤。色差透鏡錯(cuò)誤使成像產(chǎn)生色斑或暈環(huán)。在攝影器材中,應(yīng)通過(guò)特殊處理,盡量消減色差透鏡錯(cuò)誤導(dǎo)致的成像問(wèn)題。常用的消除方法有雙膠合系統(tǒng)與雙分離系統(tǒng)。江西馬波斯傳感器原理馬波斯測(cè)量科技為您提供專(zhuān)業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!

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線激光位移傳感器高精度高性?xún)r(jià)的線激光位移傳感器操作簡(jiǎn)單易懂出廠時(shí)已作標(biāo)定,用戶(hù)開(kāi)箱即用。重新定義3D視覺(jué),讓3D相機(jī)的使用和2D相機(jī)一樣簡(jiǎn)單明了,方便快捷。算法系統(tǒng)強(qiáng)大一體式3D智能激光傳感器,依托自主研發(fā)的強(qiáng)大算法,不僅可以實(shí)現(xiàn)多路數(shù)據(jù)拼接,更具備與3D算法平臺(tái)對(duì)接,實(shí)現(xiàn)入工智能技術(shù)的三維處理。應(yīng)用場(chǎng)景豐富適用于各種工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)檢測(cè)及測(cè)量環(huán)境。目前產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于消費(fèi)類(lèi)電子制造、新能源制造、汽車(chē)制造、鈑金加工等領(lǐng)域。

生物醫(yī)療-人造膝關(guān)節(jié)粗糙度測(cè)量符合ISO標(biāo)準(zhǔn)25178-602,傳感器適用任何反射表面機(jī)械手表特別用于于在線測(cè)量的傳感器比較大樣本斜率±45°;高達(dá)±88°的漫反射微流體類(lèi)通過(guò)塑料或玻璃等透明層,使用亞微米級(jí)分辨率測(cè)量微流體每秒可測(cè)量360,000點(diǎn)渦輪葉片特別用于于在線測(cè)量的傳感器比較大樣本斜率±45°;高達(dá)±88°的漫反射電池點(diǎn)對(duì)點(diǎn)厚度測(cè)量2個(gè)傳感器和2個(gè)單通道控制器或1個(gè)雙通道控制器點(diǎn)對(duì)點(diǎn)測(cè)量對(duì)于邊緣區(qū)域可使用卡鉗結(jié)構(gòu)測(cè)量非接觸式測(cè)量,一體化設(shè)計(jì),3D輪廓掃描,多功能數(shù)據(jù)處理適用于各種材料的精確測(cè)量;使用簡(jiǎn)單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強(qiáng)膜厚其他半導(dǎo)體用于膜厚的在線測(cè)量和質(zhì)量控制非接觸測(cè)量,適用于易變形和不透明的材料小厚度測(cè)量5μm,適用于在線應(yīng)用高靈敏度和高精度可提供卡鉗結(jié)構(gòu)或測(cè)量設(shè)備可結(jié)合馬波斯Quick-SPC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理馬波斯測(cè)量科技是一家專(zhuān)業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司,有想法可以來(lái)我司咨詢(xún)!

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Irix?彩色共焦技術(shù)?適用于多種應(yīng)用領(lǐng)域:汽車(chē)玻璃玻璃容器與包裝工業(yè)電子工業(yè)(PCB)半導(dǎo)體工業(yè)(硅片)用于測(cè)量卷對(duì)卷、透明和非透明薄膜(例如EV電池蓋)的應(yīng)用3C行業(yè)電動(dòng)汽車(chē)工業(yè)(電池)機(jī)器人學(xué)微觀力學(xué)醫(yī)學(xué)航空手表用于輪廓測(cè)量的傾斜角度高達(dá)±45°的光學(xué)元件用于縮小尺寸設(shè)備的縮小直徑為4毫米、6毫米和8毫米的光學(xué)元件7“集成顯示器,具有易于使用的實(shí)驗(yàn)室用圖形界面2個(gè)同步通道,用于卷對(duì)卷應(yīng)用中的非透明目標(biāo)厚度測(cè)量同步測(cè)量與編碼器精確輪廓重建。3個(gè)編碼器輸入(TTL和HTL型號(hào))2個(gè)模擬輸出(0÷10V)多達(dá)32個(gè)校準(zhǔn)圖以CSV格式保存數(shù)據(jù)馬波斯測(cè)量科技致力于提供專(zhuān)業(yè)的光譜共焦傳感器,有需要可以聯(lián)系我司哦!天津點(diǎn)光譜共焦傳感器應(yīng)用案例

使用簡(jiǎn)單,拆裝方便,掃描速度快,定位精度高重復(fù)精度±0.5~±1μm;穩(wěn)定性高,抗干擾能力強(qiáng)。江西馬波斯傳感器原理

什么是光譜共焦干涉儀?非接觸式輪廓測(cè)量技術(shù)中的測(cè)量精度,通常受機(jī)械振動(dòng)和微掃描臺(tái)位置不準(zhǔn)確的限制。為不再受此類(lèi)環(huán)境干擾,開(kāi)發(fā)了對(duì)振動(dòng)不敏感的全新干涉測(cè)量法。采用這種新型干涉儀系統(tǒng),干涉儀顯微鏡的精度可達(dá)亞納米級(jí)。光譜共焦干涉測(cè)量原理干涉測(cè)量法基于白光干涉圖(SAWLI)的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號(hào),以便測(cè)量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測(cè)目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起,機(jī)械振動(dòng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。此外,該傳感器可用于測(cè)量太薄而不允許使用光譜共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測(cè)厚度為0.4μm。江西馬波斯傳感器原理