而光譜共焦測(cè)量方法恰恰利用這種物理現(xiàn)象的特點(diǎn)。通過使用特殊透鏡，延長不同顏色光的焦點(diǎn)光暈范圍，形成特殊放大色差，使其根據(jù)不同的被測(cè)物體到透鏡的距離，會(huì)對(duì)應(yīng)一個(gè)精確波長的光聚焦到被測(cè)物體上。通過測(cè)量反射光的波長，就可以得到被測(cè)物體到透鏡的精確距離。這一過程與攝影器材通過各種方法消減色差的過程正好相反。白色光通過一個(gè)半透鏡面到達(dá)凸透鏡。上述特殊色差就在這里產(chǎn)生。光線照射到被測(cè)物體后發(fā)生反射,透過凸透鏡，返回到傳感器探頭內(nèi)的半透鏡上。半透鏡將反射光折射到一個(gè)穿孔蓋板上，小孔只允許聚焦好的反射光通過。透過穿孔蓋板的光是一組模糊光譜，也就是說若干不同波長的光都有可能穿過小孔照在CCD感光矩陣單元上。但是只有在被測(cè)物體上聚焦的反射光擁有足夠光強(qiáng)，在CCD感光矩陣上產(chǎn)生一個(gè)明顯的波峰。在穿孔蓋板后面，需要一個(gè)分光器測(cè)量反射光的顏色信息。分光器類似一個(gè)特制光柵，可以根據(jù)反射光的波長，增強(qiáng)或減弱折射率。因此，CCD矩陣上的每一個(gè)位置，對(duì)應(yīng)一個(gè)測(cè)量物體到探頭的距離。膜厚其他半導(dǎo)體用于膜厚的在線測(cè)量和質(zhì)量控，非接觸測(cè)量，適用于易變形和不透明的材料較小厚度測(cè)量5μm。浙江馬波斯傳感器解決方案

行業(yè)內(nèi)測(cè)距傳感器有哪些?常用的測(cè)距傳感器有超聲波測(cè)距傳感器、激光測(cè)距傳感器、紅外線測(cè)距傳感器、毫米波雷達(dá)傳感器。超聲測(cè)離傳感器，精度厘米級(jí)，量程不大，對(duì)被測(cè)物面積有要求，用于物位較多激光測(cè)中傳感器，精度豪米級(jí)，量程很大，陽光對(duì)測(cè)距有影響，用于遠(yuǎn)距離變形監(jiān)測(cè)。超聲波傳感器是一種利用超聲波的特性研制而成的傳感器。超聲波是一種振動(dòng)頻率高于聲波的機(jī)械波，由換能晶片在電壓的激勵(lì)下發(fā)生振動(dòng)產(chǎn)生的，它具有波長短、繞射現(xiàn)象小、方向性好、等特點(diǎn)。2.激光傳感器主要是利用飛行時(shí)間方法來測(cè)量距離。黑龍江光譜共焦傳感器技術(shù)馬波斯測(cè)量科技是一家專業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司，歡迎新老客戶來電！

光譜共焦線傳感器由180個(gè)點(diǎn)組成，可以測(cè)量距離厚度粗糙度形狀高分辨率各種材料適用于各種行業(yè)。適用于各種材料金屬(拋光或粗糙),玻璃,陶瓷,塑料,碳,硅…同軸性無陰影影響精度&分辨率亞微米級(jí)精度，Z軸納米級(jí)分辨率被動(dòng)式(低溫、易爆環(huán)境)測(cè)量區(qū)域外的熱源和電源大角度鏡面可達(dá)45°速度比點(diǎn)傳感器快180倍光譜共焦視覺檢測(cè)相機(jī)，AOI彩色共焦線相機(jī)檢測(cè)系統(tǒng)：自動(dòng)光學(xué)檢測(cè)，可以測(cè)量尺寸高分辨率各種材料適用于各種行業(yè)。工業(yè)4.0100%在線自動(dòng)測(cè)量與質(zhì)量控制柔性系統(tǒng)，高速可達(dá)12m/s3D形狀/輪廓測(cè)量多達(dá)6軸汽車擋風(fēng)玻璃HUD多點(diǎn)厚度測(cè)量*需4秒高分辨率的直角坐標(biāo)機(jī)械手：±0.05mm3到5軸3D形狀和/或多點(diǎn)厚度測(cè)量：±0.05mm重復(fù)性適用任何反射表面3D系統(tǒng)致力于粗糙度，3D形貌測(cè)量3個(gè)高分辨率電動(dòng)軸(X；Y；Z)：±0.001mm3大尺寸選擇：100x100mm2；200x200mm2；300x300m2…可與STIL傳感器配套使用，并集成了點(diǎn)、線、相機(jī)的3D軟件系統(tǒng)亞微米級(jí)軸向分辨率薄涂層和空氣間隙測(cè)量：小于1微米

非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)非接觸式晶圓厚度測(cè)量系統(tǒng)是一種利用氣體動(dòng)靜壓原理工作的非接觸式軸承，由于工作在平面度較好的花崗巖表面，因此本身也能獲得非常理想的運(yùn)動(dòng)平面度及平順性，特別適用于高精度檢測(cè)以及超精加工領(lǐng)域。對(duì)射式非接觸式同軸激光位移傳感器測(cè)量?直線電機(jī)高精度龍門運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)?兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測(cè)量?共面氣浮移動(dòng)軸承確保樣品的移動(dòng)獲得極高的平面度及平順性?兼容1-8英寸規(guī)格晶圓樣品(可擴(kuò)展至300mm12英寸產(chǎn)品)?晶圓的測(cè)量厚度范圍為10um-20mm?抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機(jī)架?比較大掃描速度1m/s?可自定義生成快速便捷的自動(dòng)化測(cè)量模式?直觀簡(jiǎn)單的2D或3D數(shù)據(jù)呈現(xiàn)方式?適用于厚度,TTV,LTV,TIR,Sori,Taper,Bow和Warp測(cè)量參數(shù)及標(biāo)準(zhǔn)馬波斯測(cè)量科技是一家專業(yè)提供光譜共焦傳感器的公司，有想法的可以來電咨詢！

多個(gè)產(chǎn)品同時(shí)測(cè)量減少成本測(cè)量對(duì)象可任意擺放，多個(gè)產(chǎn)品可同時(shí)測(cè)量，**節(jié)省測(cè)量時(shí)間，減少用工成本！低畸變圖像無變形即便在鏡頭邊緣部位測(cè)量，圖像畸變也很小，無需擔(dān)心測(cè)量對(duì)象所放位置。缺陷過濾測(cè)量位置包含有毛邊或缺陷時(shí)系統(tǒng)能自動(dòng)識(shí)別，排除異常點(diǎn)提高測(cè)量的準(zhǔn)確度。數(shù)據(jù)追溯管理更簡(jiǎn)單測(cè)量結(jié)果自動(dòng)保存，可按測(cè)量日期、產(chǎn)品名稱、產(chǎn)品料號(hào)等信息搜索，數(shù)據(jù)追溯管理簡(jiǎn)單優(yōu)勢(shì)：測(cè)量更準(zhǔn)確采用雙倍率雙側(cè)遠(yuǎn)心光學(xué)鏡頭，具有較高的遠(yuǎn)心度，即使有段差情況下也能高精度正確的測(cè)量。倍率涵蓋0.16X大視野/0.7X高精度。馬波斯測(cè)量科技為您提供專業(yè)的光譜共焦傳感器，有想法的可以來電咨詢！北京光譜共焦傳感器應(yīng)用案例

使用亞微米級(jí)分辨率測(cè)量微流體每秒可測(cè)量360,000點(diǎn)。浙江馬波斯傳感器解決方案

什么是光譜共焦干涉儀？非接觸式輪廓測(cè)量技術(shù)中的測(cè)量精度，通常受機(jī)械振動(dòng)和微掃描臺(tái)位置不準(zhǔn)確的限制。為不再受此類環(huán)境干擾，開發(fā)了對(duì)振動(dòng)不敏感的全新干涉測(cè)量法。采用這種新型干涉儀系統(tǒng)，干涉儀顯微鏡的精度可達(dá)亞納米級(jí)。光譜共焦干涉測(cè)量原理干涉測(cè)量法基于白光干涉圖（SAWLI）的光譜分析。它包括分析在光譜儀上觀察到的干擾信號(hào)，以便測(cè)量參比板和樣品之間的氣隙厚度。成熟系統(tǒng)的**性在于將參考板固定在檢測(cè)目標(biāo)上。由于參考板和樣品固定在一起，機(jī)械振動(dòng)不會(huì)影響測(cè)量結(jié)果。此外，該傳感器可用于測(cè)量太薄而不允許使用光譜共焦技術(shù)的透明薄膜。**小可測(cè)厚度為0.4μm。浙江馬波斯傳感器解決方案