(3)非接觸測頭以及各種掃描探針顯微鏡。航空航天行業(yè)對此已經提出迫切要求，這是今后坐標測量機發(fā)展的關鍵技術。目前接觸式測頭已完全被國外所壟斷，非接觸測頭還沒有發(fā)展成熟，我們有參與競爭的機遇。以前較多采用的激光三角法原理受到很多限制，難以有突破性進展，但可在原理創(chuàng)新上下功夫。應該突破0.1～0.5μm分辨率。(5)新器件，新材料。過去，科研評價體系存在偏重于整機和系統，忽視材料和器件的趨向。新的突破點可能出現在新光源、新型高頻探測器。目前探測器的響應頻率只有10的9次方，而光頻高達10的14次方，目前干涉儀實際上是起著混頻器的作用，適應探測器的不足(如果探測器的響應果真能超過光頻，干涉儀也就沒有用了)。如果探測器的性能得到顯著提高，對于通訊也是很大的突破。 角度和迴轉測量，檢測軸承間隙。廣東激光干涉儀色散共焦
微型電流互感器稱之為“儀用電流互感器”。（“儀用電流互感器”有一層含義是在實驗室使用的多電流比精密電流互感器，一般用于擴大儀表量程。）電流互感器原理線路圖微型電流互感器與變壓器類似也是根據電磁感應原理工作，變壓器變換的是電壓而微型電流互感器變換的是電流罷了。繞組N1接被測電流，稱為一次繞組（或原邊繞組、初級繞組）；繞組N2接測量儀表，稱為二次繞組（或副邊繞組、次級繞組）。根據不同的需要，組合式電流電壓互感器分為V/V接線和Y/Y接線兩種，以計量三相負荷平衡或不平衡時的電能。三維輪廓激光干涉儀高精度測量對每個樣品旋轉，只要安裝了反射器和傳感器且對齊良好，就可使用多探頭誤差分離技術處理原始干涉測量數據。
體型半導體應變片這種半導體應變片是將單晶硅錠切片、研磨、腐蝕壓焊引線，結尾粘貼在鋅酚醛樹脂或聚酰亞胺的襯底上制成的。體型半導體應變片可分為6種。①普通型：它適合于一般應力測量；②溫度自動補償型：它能使溫度引起的導致應變電阻變化的各種因素自動抵消，只適用于特定的試件材料；③靈敏度補償型：通過選擇適當的襯底材料（例如不銹鋼），并采用穩(wěn)流電路，使溫度引起的靈敏度變化極??；④高輸出（高電阻）型：它的阻值很高（2～10千歐）,可接成電橋以高電壓供電而獲得高輸出電壓，因而可不經放大而直接接入指示儀表。⑤超線性型：它在比較寬的應力范圍內，呈現較寬的應變線性區(qū)域，適用于大應變范圍的場合；⑥P-N組合溫度補償型：它選用配對的P型和N型兩種轉換元件作為電橋的相鄰兩臂，從而使溫度特性和非線性特性有較大改善。
結構原理：普通電流互感器結構原理：電流互感器的結構較為簡單，由相互絕緣的一次繞組、二次繞組、鐵心以及構架、殼體、接線端子等組成。
其工作原理與變壓器基本相同，一次繞組的匝數（N1）較少，直接串聯于電源線路中，一次負荷電流(I1)通過一次繞組時，產生的交變磁通感應產生按比例減小的二次電流（I2）；二次繞組的匝數（N2）較多，與儀表、繼電器、變送器等電流線圈的二次負荷（Z）串聯形成閉合回路，由于一次繞組與二次繞組有相等的安培匝數，I1N1=I2N2，電流互感器額定電流比電流互感器實際運行中負荷阻抗很小，二次繞組接近于短路狀態(tài)，相當于一個短路運行的變壓器。 雖然加速度計可用于測量頻率> ~20 Hz @ 10 kHz的鏡像虛擬儀。
不同變比電流互感器。這種型號的電流互感器具有同一個鐵心和一次繞組，而二次繞組則分為兩個匝數不同、各自獨自的繞組，以滿足同一負荷電流情況下不同變比、不同準確度等級的需要，例如在同一負荷情況下，為了保證電能計量準確，要求變比較小一些（以滿足負荷電流在一次額定值的2/3左右），準確度等級高一些（如1K1.1K2為200/5.0.2級）；而用電設備的繼電保護，考慮到故障電流的保護系數較大，則要求變比較大一些，準確度等級可以稍低一點（如2K1.2K2為300/5.1級）。 實時通訊接口：HSSL，AquadB和Sin/Cos！廣東激光干涉儀色散共焦
緊湊，適用于設備集成。廣東激光干涉儀色散共焦
干涉儀技術參數：5D/6D標準型：1.線性：0.5ppm.2.測量范圍：40米（1D可選80米）3.線性分辨力：0.001um.4.偏擺角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%顯示較大值5.比較大范圍：800角秒6.滾動角精度：1.0角秒7.直線度精度：（1.0+0.2/m）um或1%顯示較大值8.直線度比較大范圍：500um9.垂直度精度：1角秒10.溫度精度：0.2攝氏度11.濕度精度：5%12.壓力精度：1mmHg從激光器發(fā)出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。廣東激光干涉儀色散共焦
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