模塊的內(nèi)部等效電路多個管芯并聯(lián)時,柵極已經(jīng)加入柵極電阻,實際的等效電路如圖2所示。不同制造商的模塊,柵極電阻的阻值也不相同;不過,同一個模塊內(nèi)部的柵極電阻,其阻值是相同的。圖2單管模塊內(nèi)部的實際等效電路圖IGBT單管模塊通常稱為1in1模塊,前面的“1”表示內(nèi)部包含一個IGBT管芯,后面的“1”表示同一個模塊塑殼之中。2.半橋模塊,2in1模塊半橋(Halfbridge)模塊也稱為2in1模塊,可直接構(gòu)成半橋電路,也可以用2個半橋模塊構(gòu)成全橋,3個半橋模塊也構(gòu)成三相橋。因此,半橋模塊有時候也稱為橋臂(Phase-Leg)模塊。圖3是半橋模塊的內(nèi)部等效。不同的制造商的接線端子名稱也有所不同,如C2E1可能會標(biāo)識為E1C2,有的模塊只在等效電路圖上標(biāo)識引腳編號等。圖3半橋模塊的內(nèi)部等效電路半橋模塊的電流/電壓規(guī)格指的均是其中的每一個模塊單元。如1200V/400A的半橋模塊,表示其中的2個IGBT管芯的電流/電壓規(guī)格都是1200V/400A,即C1和E2之間可以耐受高2400V的瞬間直流電壓。不僅半橋模塊,所有模塊均是如此標(biāo)注的。3.全橋模塊,4in1模塊全橋模塊的內(nèi)部等效電路如圖4所示。圖4全橋模塊內(nèi)部等效電路全橋(Fullbridge)模塊也稱為4in1模塊,用于直接構(gòu)成全橋電路。IGBT模塊是由IGBT(絕緣柵雙極型晶體管芯片)與FWD通過特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品。福建貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊供應(yīng)商
所以包裝時將g極和e極之間要有導(dǎo)電泡沫塑料,將它短接。裝配時切不可用手指直接接觸,直到g極管腳進行性連接。b、主電路用螺絲擰緊,控制極g要用插件,盡可能不用焊接方式。c、裝卸時應(yīng)采用接地工作臺,接地地面,接地腕帶等防靜電措施。d、儀器測量時,將1000電阻與g極串聯(lián)。e、要在無電源時進行安裝。f,焊接g極時,電烙鐵要停電并接地,選用定溫電烙鐵合適。當(dāng)手工焊接時,溫度2601c15'c.時間(10士1)秒,松香焊劑。波峰焊接時,pcb板要預(yù)熱80'c-]05'c,在245℃時浸入焊接3-4IGBT功率模塊發(fā)展趨勢編輯igbt發(fā)展趨向是高耐壓、大電流、高速度、低壓降、高可靠、低成本為目標(biāo)的,特別是發(fā)展高壓變頻器的應(yīng)用,簡化其主電路,減少使用器件,提高可靠性,降造成本,簡化調(diào)試工作等,都與igbt有密切的內(nèi)在聯(lián)系,所以世界各大器件公司都在奮力研究、開發(fā),予估近2-3年內(nèi),會有突破性的進展。已有適用于高壓變頻器的有電壓型hv-igbt,igct,電流型sgct等。福建貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊供應(yīng)商隨著節(jié)能環(huán)保等理念的推進,此類產(chǎn)品在市場上將越來越多見。
圖1所示為一個N溝道增強型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),N+區(qū)稱為源區(qū),附于其上的電極稱為源極。N+區(qū)稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)為柵區(qū),附于其上的電極稱為柵極。溝道在緊靠柵區(qū)邊界形成。在漏、源之間的P型區(qū)(包括P+和P一區(qū))(溝道在該區(qū)域形成),稱為亞溝道區(qū)(Subchannelregion)。而在漏區(qū)另一側(cè)的P+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū)(Draininjector),它是IGBT特有的功能區(qū),與漏區(qū)和亞溝道區(qū)一起形成PNP雙極晶體管,起發(fā)射極的作用,向漏極注入空穴,進行導(dǎo)電調(diào)制,以降低器件的通態(tài)電壓。附于漏注入?yún)^(qū)上的電極稱為漏極。IGBT的開關(guān)作用是通過加正向柵極電壓形成溝道,給PNP晶體管提供基極電流,使IGBT導(dǎo)通。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guān)斷。IGBT的驅(qū)動方法和MOSFET基本相同,只需控制輸入極N一溝道MOSFET,所以具有高輸入阻抗特性。當(dāng)MOSFET的溝道形成后,從P+基極注入到N一層的空穴(少子),對N一層進行電導(dǎo)調(diào)制,減小N一層的電阻,使IGBT在高電壓時,也具有低的通態(tài)電壓。IGBT和可控硅區(qū)別IGBT與晶閘管1.整流元件(晶閘管)簡單地說:整流器是把單相或三相正弦交流電流通過整流元件變成平穩(wěn)的可調(diào)的單方向的直流電流。其實現(xiàn)條件主要是依靠整流管。
晶閘管的正向漏電流比一般硅二極管反向漏電流大,且隨著管子正向陽極電壓升高而增大。當(dāng)陽極電壓升到足夠大時,會使晶閘管導(dǎo)通,稱為正向轉(zhuǎn)折或“硬開通”。多次硬開通會損壞管子。2.晶閘管加上正向陽極電壓后,還必須加上觸發(fā)電壓,并產(chǎn)生足夠的觸發(fā)電流,才能使晶閘管從阻斷轉(zhuǎn)為導(dǎo)通。觸發(fā)電流不夠時,管子不會導(dǎo)通,但此時正向漏電流隨著增大而增大。晶閘管只能穩(wěn)定工作在關(guān)斷和導(dǎo)通兩個狀態(tài),沒有中間狀態(tài),具有雙穩(wěn)開關(guān)特性。是一種理想的無觸點功率開關(guān)元件。3.晶閘管一旦觸發(fā)導(dǎo)通,門極完全失去控制作用。要關(guān)斷晶閘管,必須使陽極電流《維持電流,對于電阻負載,只要使管子陽極電壓降為零即可。為了保證晶閘管可靠迅速關(guān)斷,通常在管子陽極電壓互降為零后,加上一定時間的反向電壓。晶閘管主要特性參數(shù)1.正反向重復(fù)峰值電壓——額定電壓(VDRM、VRRM取其小者)2.額定通態(tài)平均電流IT(AV)——額定電流(正弦半波平均值)3.門極觸發(fā)電流IGT,門極觸發(fā)電壓UGT,(受溫度變化)4.通態(tài)平均電壓UT(AV)即管壓降5.維持電流IH與掣住電流IL6.開通與關(guān)斷時間晶閘管合格證基本參數(shù)IT(AV)=A。IGBT的伏安特性是指以柵源電壓Ugs為參變量時,漏極電流與柵極電壓之間的關(guān)系曲線。
所述阱區(qū)形成于所述漂移區(qū)表面的所述硅外延層中。進一步的改進是,令各所述第二屏蔽多晶硅頂部對應(yīng)的接觸孔為屏蔽接觸孔。在各所述單元結(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔和鄰近的一個所述屏蔽接觸孔合并成一個接觸孔,鄰近的所述屏蔽接觸孔外側(cè)的所述屏蔽接觸孔呈結(jié)構(gòu)。或者,在各所述單元結(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔和各所述屏蔽接觸孔連接成一個整體結(jié)構(gòu)。進一步的改進是,所述一屏蔽介質(zhì)層和所述第二屏蔽介質(zhì)層的工藝條件相同且同時形成,所述一屏蔽多晶硅和所述第二屏蔽多晶硅的工藝條件相同且同時形成。進一步的改進是,一個所述單元結(jié)構(gòu)中包括5個所述溝槽,在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括二個所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。進一步的改進是,所述溝槽的步進為1微米~3微米。進一步的改進是,在所述漂移區(qū)和所述集電區(qū)之間形成有由一導(dǎo)電類型重摻雜區(qū)組成的電場中止層。進一步的改進是,所述igbt器件為n型器件,一導(dǎo)電類型為n型,第二導(dǎo)電類型為p型;或者,所述igbt器件為p型器件,一導(dǎo)電類型為p型,第二導(dǎo)電類型為n型。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供的igbt器件的制造方法包括如下步驟:步驟一、提供一半導(dǎo)體襯底,在所述半導(dǎo)體襯底表面形成由一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成的漂移區(qū)。一是開關(guān)速度,主要指標(biāo)是開關(guān)過程中各部分時間;另一個是開關(guān)過程中的損耗。上海定制Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
IGBT的開關(guān)特性是指漏極電流與漏源電壓之間的關(guān)系。福建貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊供應(yīng)商
一個所述igbt器件的單元結(jié)構(gòu)中包括一個所述柵極結(jié)構(gòu)以及形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu),在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括至少一個所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。步驟七、如圖3e所示,在所述漂移區(qū)1表面依次形成電荷存儲層14和第二導(dǎo)電類型摻雜的阱區(qū)2。所述阱區(qū)2位于所述漂移區(qū)1表面。所述電荷存儲層14位于所述漂移區(qū)1的頂部區(qū)域且位于所述漂移區(qū)1和所述阱區(qū)2交界面的底部,所述電荷存儲層14具有一導(dǎo)電類重摻雜;所述電荷存儲層14用于阻擋第二導(dǎo)電類載流子從所述漂移區(qū)1中進入到所述阱區(qū)2中。各所述溝槽101穿過所述阱區(qū)2和所述電荷存儲層14且各所述溝槽101的進入到所述漂移區(qū)1中;被所述多晶硅柵6側(cè)面覆蓋的所述阱區(qū)2的表面用于形成溝道。所述電荷存儲層14的摻雜濃度至少大于所述漂移區(qū)1的摻雜濃度的一個數(shù)量級。步驟八、如圖3f所示,采用光刻定義加一導(dǎo)電類型重摻雜離子注入工藝在所述多晶硅柵6兩側(cè)的所述阱區(qū)2的表面形成發(fā)射區(qū)7。步驟九、如圖3g所示,形成層間膜10。如圖1所示,接觸孔、正面金屬層12,所述接觸孔穿過所述層間膜10;對所述正面金屬層12進行圖形化形成金屬柵極和金屬源極。所述多晶硅柵6通過頂部對應(yīng)的接觸孔連接到所述金屬柵極。福建貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊供應(yīng)商