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圖1所示為一個(gè)N溝道增強(qiáng)型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),N+區(qū)稱為源區(qū),附于其上的電極稱為源極。N+區(qū)稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)為柵區(qū),附于其上的電極稱為柵極。溝道在緊靠柵區(qū)邊界形成。在漏、源之間的P型區(qū)(包括P+和P一區(qū))(溝道在該區(qū)域形成),稱為亞溝道區(qū)(Subchannelregion)。而在漏區(qū)另一側(cè)的P+區(qū)稱為漏注入?yún)^(qū)(Draininjector),它是IGBT特有的功能區(qū),與漏區(qū)和亞溝道區(qū)一起形成PNP雙極晶體管,起發(fā)射極的作用,向漏極注入空穴,進(jìn)行導(dǎo)電調(diào)制,以降低器件的通態(tài)電壓。附于漏注入?yún)^(qū)上的電極稱為漏極。IGBT的開關(guān)作用是通過(guò)加正向柵極電壓形成溝道,給PNP晶體管提供基極電流,使IGBT導(dǎo)通。反之,加反向門極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guān)斷。IGBT的驅(qū)動(dòng)方法和MOSFET基本相同,只需控制輸入極N一溝道MOSFET,所以具有高輸入阻抗特性。當(dāng)MOSFET的溝道形成后,從P+基極注入到N一層的空穴(少子),對(duì)N一層進(jìn)行電導(dǎo)調(diào)制,減小N一層的電阻,使IGBT在高電壓時(shí),也具有低的通態(tài)電壓。IGBT和可控硅區(qū)別IGBT與晶閘管1.整流元件(晶閘管)簡(jiǎn)單地說(shuō):整流器是把單相或三相正弦交流電流通過(guò)整流元件變成平穩(wěn)的可調(diào)的單方向的直流電流。其實(shí)現(xiàn)條件主要是依靠整流管。IGBT在開通過(guò)程中,大部分時(shí)間是作為MOSFET來(lái)運(yùn)行的。江西進(jìn)口Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售價(jià)格
降低本征JFET的影響,和使用元胞設(shè)計(jì)幾何圖形,從而達(dá)到以上的目標(biāo)。對(duì)兩種1200VNPTIGBT進(jìn)行比較:一種是其他公司的需負(fù)偏置關(guān)斷的器件,一種是IR公司的NPT單正向柵驅(qū)動(dòng)IRGP30B120KD-E。測(cè)試結(jié)果表明其他公司的器件在源電阻為56?下驅(qū)動(dòng)時(shí),dV/dt感生電流很大。比較寄生電容的數(shù)據(jù),IR器件的三種電容也有減小:輸入電容,CIES減小25%輸出電容,COES減小35%反向傳輸電容,CRES減小68%圖4寄生電容比較圖5顯示出IR器件的減小電容與V的關(guān)系,得出的平滑曲線是由于減小了JFET的影響。當(dāng)V=0V時(shí),負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)器件的C為1100pF,IRGP30B120KD-E只有350pF,當(dāng)VCE=30V時(shí),負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)器件的C為170pF,IRGP30B120KD-E的CRES為78pF。很明顯,IRGP30B120KD-E具有非常低的C,因此在相同的dV/dt條件下dV/dt感生電流將非常小。圖5IRGP30B120KD-E寄生電容與VCE的關(guān)系圖6的電路用來(lái)比較測(cè)試兩種器件的電路性能。兩者的dV/dt感生電流波形也在相同的dV/dt值下得出。圖6dV/dt感生開通電流的測(cè)試電路測(cè)試條件:電壓率,dV/dt=直流電壓,Vbus=600V外部柵到發(fā)射極電阻Rg=56?環(huán)境溫度。山東加工Mitsubishi三菱IGBT模塊現(xiàn)貨封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上。
所述發(fā)射區(qū)通過(guò)頂部的對(duì)應(yīng)的接觸孔連接到所述金屬源極;令所述發(fā)射區(qū)頂部對(duì)應(yīng)的接觸孔為源極接觸孔11,所述源極接觸孔11還和穿過(guò)所述發(fā)射區(qū)和所述阱區(qū)2接觸。所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b也分布通過(guò)對(duì)應(yīng)的接觸孔連接到所述金屬源極。步驟十、如圖1所示,對(duì)所述半導(dǎo)體襯底進(jìn)行背面減薄,進(jìn)行第二導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入并進(jìn)行退火在所述漂移區(qū)1的底部表面形成有由第二導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的集電區(qū)9。更擇為,在背面減薄之后以及形成所述集電區(qū)9之前,還包括進(jìn)行一導(dǎo)電類型重?fù)诫s注入并進(jìn)行退火在所述漂移區(qū)1的底部表面形成有由一導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的電場(chǎng)中止層8,后續(xù)形成的所述集電區(qū)9位于所述電場(chǎng)中止層8的背面。步驟十一、如圖1所示,在所述集電區(qū)9的底部表面形成由背面金屬層13組成的金屬集電極。通過(guò)形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的具有溝槽101式結(jié)構(gòu)的所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)降低igbt器件的溝槽101的步進(jìn),從而降低igbt器件的輸入電容、輸出電容和逆導(dǎo)電容,提高器件的開關(guān)速度;通過(guò)將所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b和所述金屬源極短接提高器件的短路電流能力;通過(guò)所述電荷存儲(chǔ)層14減少器件的飽和壓降。
下拉電阻r3并聯(lián)在電阻r2與控制管n3之間,控制限壓功能的工作與否;請(qǐng)?jiān)俅螀㈤唸D1,限流電路300包括電阻r1和正向二極管n22,電阻r1與正向二極管n22相串聯(lián),限壓電路100、控制電路200和限流電路300相并聯(lián),限制限壓部分的電流大小,解決了分立器件限壓電路集成在驅(qū)動(dòng)輸出端導(dǎo)通時(shí)出現(xiàn)的較大電流現(xiàn)象,不降低了工作損耗,減小了分立器件的成本、也提高了芯片使用的壽命。使用時(shí),當(dāng)lp接收到mcu的信號(hào)置高時(shí),限壓電路開始工作,a點(diǎn)電壓被限壓在設(shè)定所需要的電壓u1,如希望igbt驅(qū)動(dòng)輸出限制在12v,此時(shí)a電壓的設(shè)定u1=12v+vbe,b點(diǎn)電壓為u2=12v+2vbe,終c點(diǎn)電壓為12v,此時(shí)限壓部分的支路電流被限制在(vcc-u2)/r1以下,在常規(guī)的igbt驅(qū)動(dòng)中增加了限壓電路的功能結(jié)構(gòu),實(shí)現(xiàn)了對(duì)igbt的功耗的降低,保護(hù)了igbt管,將通常分立器件實(shí)現(xiàn)方式的限壓電路集成在芯片中,與igbt驅(qū)動(dòng)電路集成在一起,節(jié)省了面積和成本,同時(shí)還能解決分立器件穩(wěn)壓管接在驅(qū)動(dòng)輸出處,當(dāng)導(dǎo)通時(shí)較大電流的問(wèn)題。雖然在上文中已經(jīng)參考實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了描述,然而在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下,可以對(duì)其進(jìn)行各種改進(jìn)并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是,只要不存在結(jié)構(gòu)。IGBT的開啟電壓約3~4V,和MOSFET相當(dāng)。
TC=℃)------通態(tài)平均電流VTM=V-----------通態(tài)峰值電壓VDRM=V-------------斷態(tài)正向重復(fù)峰值電壓IDRM=mA-------------斷態(tài)重復(fù)峰值電流VRRM=V-------------反向重復(fù)峰值電壓IRRM=mA------------反向重復(fù)峰值電流IGT=mA------------門極觸發(fā)電流VGT=V------------門極觸發(fā)電壓執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn):QB-02-091.晶閘管關(guān)斷過(guò)電壓(換流過(guò)電壓、空穴積蓄效應(yīng)過(guò)電壓)及保護(hù)晶閘管從導(dǎo)通到阻斷,線路電感(主要是變壓器漏感LB)釋放能量產(chǎn)生過(guò)電壓。由于晶閘管在導(dǎo)通期間,載流子充滿元件內(nèi)部,在關(guān)斷過(guò)程中,管子在反向作用下,正向電流下降到零時(shí),元件內(nèi)部殘存著載流子。這些載流子在反向電壓作用下瞬時(shí)出現(xiàn)較大的反向電流,使殘存的載流子迅速消失,這時(shí)反向電流減小即diG/dt極大,產(chǎn)生的感應(yīng)電勢(shì)很大,這個(gè)電勢(shì)與電源串聯(lián),反向加在已恢復(fù)阻斷的元件上,可導(dǎo)致晶閘管反向擊穿。這就是關(guān)斷過(guò)電壓(換相過(guò)電壓)。數(shù)值可達(dá)工作電壓的5~6倍。保護(hù)措施:在晶閘管兩端并接阻容吸收電路。2.交流側(cè)過(guò)電壓及其保護(hù)由于交流側(cè)電路在接通或斷開時(shí)出現(xiàn)暫態(tài)過(guò)程,會(huì)產(chǎn)生操作過(guò)電壓。高壓合閘的瞬間,由于初次級(jí)之間存在分布電容,初級(jí)高壓經(jīng)電容耦合到次級(jí),出現(xiàn)瞬時(shí)過(guò)電壓。輸出漏極電流比受柵源電壓Ugs的控制,Ugs越高,Id越大。山東加工Mitsubishi三菱IGBT模塊現(xiàn)貨
盡管等效電路為達(dá)林頓結(jié)構(gòu),但流過(guò)MOSFET的電流成為IGBT總電流的主要部分。江西進(jìn)口Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售價(jià)格
B)車載空調(diào)控制系統(tǒng)小功率直流/交流(DC/AC)逆變,使用電流較小的IGBT和FRD;C)充電樁智能充電樁中IGBT模塊被作為開關(guān)元件使用;2)智能電網(wǎng)IGBT廣泛應(yīng)用于智能電網(wǎng)的發(fā)電端、輸電端、變電端及用電端:1、從發(fā)電端來(lái)看,風(fēng)力發(fā)電、光伏發(fā)電中的整流器和逆變器都需要使用IGBT模塊。2、從輸電端來(lái)看,特高壓直流輸電中FACTS柔性輸電技術(shù)需要大量使用IGBT等功率器件。3、從變電端來(lái)看,IGBT是電力電子變壓器(PET)的關(guān)鍵器件。4、從用電端來(lái)看,家用白電、微波爐、LED照明驅(qū)動(dòng)等都對(duì)IGBT有大量的需求。3)軌道交通IGBT器件已成為軌道交通車輛牽引變流器和各種輔助變流器的主流電力電子器件。交流傳動(dòng)技術(shù)是現(xiàn)代軌道交通的技術(shù)之一,在交流傳動(dòng)系統(tǒng)中牽引變流器是關(guān)鍵部件,而IGBT又是牽引變流器的器件之一。IGBT國(guó)內(nèi)外市場(chǎng)規(guī)模2015年國(guó)際IGBT市場(chǎng)規(guī)模約為48億美元,預(yù)計(jì)到2020年市場(chǎng)規(guī)模可以達(dá)到80億美元,年復(fù)合增長(zhǎng)率約10%。2014年國(guó)內(nèi)IGBT銷售額是,約占全球市場(chǎng)的1∕3。預(yù)計(jì)2020年中國(guó)IGBT市場(chǎng)規(guī)模將超200億元,年復(fù)合增長(zhǎng)率約為15%。從公司來(lái)看,國(guó)外研發(fā)IGBT器件的公司主要有英飛凌、ABB、三菱、西門康、東芝、富士等。中國(guó)功率半導(dǎo)體市場(chǎng)占世界市場(chǎng)的50%以上。江西進(jìn)口Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售價(jià)格