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由形成于半導(dǎo)體襯底表面的一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成。第二導(dǎo)電類型摻雜的阱區(qū),形成于所述漂移區(qū)表面。在所述漂移區(qū)的底部表面形成有由第二導(dǎo)電類重?fù)诫s區(qū)組成的集電區(qū)。電荷存儲(chǔ)層,所述電荷存儲(chǔ)層形成于所述漂移區(qū)的頂部區(qū)域且位于所述漂移區(qū)和所述阱區(qū)交界面的底部,所述電荷存儲(chǔ)層具有一導(dǎo)電類重?fù)诫s;所述電荷存儲(chǔ)層用于阻擋第二導(dǎo)電類載流子從所述漂移區(qū)中進(jìn)入到所述阱區(qū)中。多個(gè)溝槽,各所述溝槽穿過(guò)所述阱區(qū)和所述電荷存儲(chǔ)層且各所述溝槽的進(jìn)入到所述漂移區(qū)中;一個(gè)所述igbt器件的單元結(jié)構(gòu)中包括一個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第二屏蔽電極結(jié)構(gòu),在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括至少一個(gè)所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述柵極結(jié)構(gòu)包括形成于一個(gè)對(duì)應(yīng)的所述溝槽中的一屏蔽多晶硅和多晶硅柵的疊加結(jié)構(gòu),所述一屏蔽多晶硅組成一屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述多晶硅柵位于所述一屏蔽多晶硅的頂部,所述一屏蔽多晶硅和對(duì)應(yīng)的所述溝槽的底部表面和側(cè)面之間通過(guò)一屏蔽介質(zhì)層隔離,所述一屏蔽多晶硅和所述多晶硅柵之間通過(guò)多晶硅間介質(zhì)層隔離,所述多晶硅柵和所述溝槽的側(cè)面之間通過(guò)柵介質(zhì)層隔離。所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)由填充于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述溝槽中的第二屏蔽多晶硅組成。IGBT的開(kāi)關(guān)作用是通過(guò)加正向柵極電壓形成溝道,給PNP(原來(lái)為NPN)晶體管提供基極電流,使IGBT導(dǎo)通。上海貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
igbt簡(jiǎn)介IGBT(InsulatedGateBipolarTransistor),絕緣柵雙極型晶體管,是由BJT(雙極型三極管)和MOS(絕緣柵型場(chǎng)效應(yīng)管)組成的復(fù)合全控型電壓驅(qū)動(dòng)式功率半導(dǎo)體器件,兼有MOSFET的高輸入阻抗和GTR的低導(dǎo)通壓降兩方面的優(yōu)點(diǎn)。GTR飽和壓降低,載流密度大,但驅(qū)動(dòng)電流較大;MOSFET驅(qū)動(dòng)功率很小,開(kāi)關(guān)速度快,但導(dǎo)通壓降大,載流密度小。IGBT綜合了以上兩種器件的優(yōu)點(diǎn),驅(qū)動(dòng)功率小而飽和壓降低。非常適合應(yīng)用于直流電壓為600V及以上的變流系統(tǒng)如交流電機(jī)、變頻器、開(kāi)關(guān)電源、照明電路、牽引傳動(dòng)等領(lǐng)域。IGBT模塊IGBT模塊是由IGBT(絕緣柵雙極型晶體管芯片)與FWD(續(xù)流二極管芯片)通過(guò)特定的電路橋接封裝而成的模塊化半導(dǎo)體產(chǎn)品;封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上。IGBT模塊特點(diǎn)IGBT模塊具有節(jié)能、安裝維修方便、散熱穩(wěn)定等特點(diǎn);當(dāng)前市場(chǎng)上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品,一般所說(shuō)的IGBT也指IGBT模塊;隨著節(jié)能環(huán)保等理念的推進(jìn),此類產(chǎn)品在市場(chǎng)上將越來(lái)越多見(jiàn)。IGBT結(jié)構(gòu)上圖所示為一個(gè)N溝道增強(qiáng)型絕緣柵雙極晶體管結(jié)構(gòu),N+區(qū)稱為源區(qū),附于其上的電極稱為源極(即發(fā)射極E)。N基極稱為漏區(qū)。器件的控制區(qū)為柵區(qū),附于其上的電極稱為柵極(即門(mén)極G)。上海貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠開(kāi)關(guān)頻率比較大的IGBT型號(hào)是S4,可以使用到30KHz的開(kāi)關(guān)頻率。
所述電荷存儲(chǔ)層14用于阻擋第二導(dǎo)電類載流子從所述漂移區(qū)1中進(jìn)入到所述阱區(qū)2中。多個(gè)溝槽101,各所述溝槽101穿過(guò)所述阱區(qū)2和所述電荷存儲(chǔ)層14且各所述溝槽101的進(jìn)入到所述漂移區(qū)1中;一個(gè)所述igbt器件的單元結(jié)構(gòu)中包括一個(gè)柵極結(jié)構(gòu)以及形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的第二屏蔽電極結(jié)構(gòu),在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括至少一個(gè)所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述柵極結(jié)構(gòu)包括形成于一個(gè)對(duì)應(yīng)的所述溝槽101中的一屏蔽多晶硅4a和多晶硅柵6的疊加結(jié)構(gòu),所述一屏蔽多晶硅4a組成一屏蔽電極結(jié)構(gòu)。所述多晶硅柵6位于所述一屏蔽多晶硅4a的頂部,所述一屏蔽多晶硅4a和對(duì)應(yīng)的所述溝槽101的底部表面和側(cè)面之間通過(guò)一屏蔽介質(zhì)層3a隔離3a,所述一屏蔽多晶硅4a和所述多晶硅柵6之間通過(guò)多晶硅間介質(zhì)層5a隔離,所述多晶硅柵6和所述溝槽101的側(cè)面之間通過(guò)柵介質(zhì)層5隔離。所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)由填充于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述溝槽101中的第二屏蔽多晶硅4b組成。所述第二屏蔽多晶硅4b和對(duì)應(yīng)的所述溝槽101的底部表面和側(cè)面之間通過(guò)第二屏蔽介質(zhì)層3b隔離。所述一屏蔽介質(zhì)層3a和所述第二屏蔽介質(zhì)層3b的工藝條件相同且同時(shí)形成,所述一屏蔽多晶硅4a和所述第二屏蔽多晶硅4b的工藝條件相同且同時(shí)形成。
晶閘管的正向漏電流比一般硅二極管反向漏電流大,且隨著管子正向陽(yáng)極電壓升高而增大。當(dāng)陽(yáng)極電壓升到足夠大時(shí),會(huì)使晶閘管導(dǎo)通,稱為正向轉(zhuǎn)折或“硬開(kāi)通”。多次硬開(kāi)通會(huì)損壞管子。2.晶閘管加上正向陽(yáng)極電壓后,還必須加上觸發(fā)電壓,并產(chǎn)生足夠的觸發(fā)電流,才能使晶閘管從阻斷轉(zhuǎn)為導(dǎo)通。觸發(fā)電流不夠時(shí),管子不會(huì)導(dǎo)通,但此時(shí)正向漏電流隨著增大而增大。晶閘管只能穩(wěn)定工作在關(guān)斷和導(dǎo)通兩個(gè)狀態(tài),沒(méi)有中間狀態(tài),具有雙穩(wěn)開(kāi)關(guān)特性。是一種理想的無(wú)觸點(diǎn)功率開(kāi)關(guān)元件。3.晶閘管一旦觸發(fā)導(dǎo)通,門(mén)極完全失去控制作用。要關(guān)斷晶閘管,必須使陽(yáng)極電流《維持電流,對(duì)于電阻負(fù)載,只要使管子陽(yáng)極電壓降為零即可。為了保證晶閘管可靠迅速關(guān)斷,通常在管子陽(yáng)極電壓互降為零后,加上一定時(shí)間的反向電壓。晶閘管主要特性參數(shù)1.正反向重復(fù)峰值電壓——額定電壓(VDRM、VRRM取其小者)2.額定通態(tài)平均電流IT(AV)——額定電流(正弦半波平均值)3.門(mén)極觸發(fā)電流IGT,門(mén)極觸發(fā)電壓UGT,(受溫度變化)4.通態(tài)平均電壓UT(AV)即管壓降5.維持電流IH與掣住電流IL6.開(kāi)通與關(guān)斷時(shí)間晶閘管合格證基本參數(shù)IT(AV)=A。動(dòng)態(tài)特性又稱開(kāi)關(guān)特性,IGBT的開(kāi)關(guān)特性分為兩大部分。
令各所述第二屏蔽多晶硅4b頂部對(duì)應(yīng)的接觸孔為屏蔽接觸孔。在各所述單元結(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔11和各所述屏蔽接觸孔連接成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)。通過(guò)對(duì)所述接觸孔的結(jié)構(gòu)進(jìn)行更改就能得到圖2所示的本發(fā)明第二實(shí)施例器件的結(jié)構(gòu),即:在各所述單元結(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔11和鄰近的一個(gè)所述屏蔽接觸孔合并成一個(gè)接觸孔,鄰近的所述屏蔽接觸孔外側(cè)的所述屏蔽接觸孔呈結(jié)構(gòu)。本發(fā)明一實(shí)施例方法中,所述igbt器件為n型器件,一導(dǎo)電類型為n型,第二導(dǎo)電類型為p型。在其他實(shí)施例方法中也能為:所述igbt器件為p型器件,一導(dǎo)電類型為p型,第二導(dǎo)電類型為n型。以上通過(guò)具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明,但這些并非構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在不脫離本發(fā)明原理的情況下,本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進(jìn),這些也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。電動(dòng)汽車概念也火的一塌糊涂,三菱推出了650V等級(jí)的IGBT,專門(mén)用于電動(dòng)汽車行業(yè)。北京貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
反之,加反向門(mén)極電壓消除溝道,切斷基極電流,使IGBT關(guān)斷。上海貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
同一代技術(shù)中通態(tài)損耗與開(kāi)關(guān)損耗兩者相互矛盾,互為消長(zhǎng)。IGBT模塊按封裝工藝來(lái)看主要可分為焊接式與壓接式兩類。高壓IGBT模塊一般以標(biāo)準(zhǔn)焊接式封裝為主,中低壓IGBT模塊則出現(xiàn)了很多新技術(shù),如燒結(jié)取代焊接,壓力接觸取代引線鍵合的壓接式封裝工藝。隨著IGBT芯片技術(shù)的不斷發(fā)展,芯片的高工作結(jié)溫與功率密度不斷提高,IGBT模塊技術(shù)也要與之相適應(yīng)。未來(lái)IGBT模塊技術(shù)將圍繞芯片背面焊接固定與正面電極互連兩方面改進(jìn)。模塊技術(shù)發(fā)展趨勢(shì):無(wú)焊接、無(wú)引線鍵合及無(wú)襯板/基板封裝技術(shù);內(nèi)部集成溫度傳感器、電流傳感器及驅(qū)動(dòng)電路等功能元件,不斷提高IGBT模塊的功率密度、集成度及智能度。IGBT的主要應(yīng)用領(lǐng)域作為新型功率半導(dǎo)體器件的主流器件,IGBT已廣泛應(yīng)用于工業(yè)、4C(通信、計(jì)算機(jī)、消費(fèi)電子、汽車電子)、航空航天等傳統(tǒng)產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,以及軌道交通、新能源、智能電網(wǎng)、新能源汽車等戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域。1)新能源汽車IGBT模塊在電動(dòng)汽車中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用,是電動(dòng)汽車及充電樁等設(shè)備的技術(shù)部件。IGBT模塊占電動(dòng)汽車成本將近10%,占充電樁成本約20%。IGBT主要應(yīng)用于電動(dòng)汽車領(lǐng)域中以下幾個(gè)方面:A)電動(dòng)控制系統(tǒng)大功率直流/交流(DC/AC)逆變后驅(qū)動(dòng)汽車電機(jī)。上海貿(mào)易Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠