措施:在三相變壓器次級(jí)星形中點(diǎn)與地之間并聯(lián)適當(dāng)電容,就可以減小這種過電壓。與整流器并聯(lián)的其它負(fù)載切斷時(shí),因電源回路電感產(chǎn)生感應(yīng)電勢(shì)的過電壓。變壓器空載且電源電壓過零時(shí),初級(jí)拉閘,因變壓器激磁電流的突變,在次級(jí)感生出很高的瞬時(shí)電壓,這種電壓尖峰值可達(dá)工作電壓的6倍以上。交流電網(wǎng)遭雷擊或電網(wǎng)侵入干擾過電壓,即偶發(fā)性浪涌電壓,都必須加阻容吸收路進(jìn)行保護(hù)。3.直流側(cè)過電壓及保護(hù)當(dāng)負(fù)載斷開時(shí)或快熔斷時(shí),儲(chǔ)存在變壓器中的磁場(chǎng)能量會(huì)產(chǎn)生過電壓,顯然在交流側(cè)阻容吸收保護(hù)電路可以抑制這種過電壓,但由于變壓器過載時(shí)儲(chǔ)存的能量比空載時(shí)要大,還不能完全消除。措施:能常采用壓敏吸收進(jìn)行保護(hù)。4.過電流保護(hù)一般加快速熔斷器進(jìn)行保護(hù),實(shí)際上它不能保護(hù)可控硅,而是保護(hù)變壓器線圈。5.電壓、電流上升率的限制4.均流與晶閘管選擇均流不好,很容易燒壞元件。為了解決均流問題,過去加均流電抗器,噪聲很大,效果也不好,一只一只進(jìn)行對(duì)比,擰螺絲松緊,很盲目,效果差,噪音大,耗能。我們采用的辦法是:用計(jì)算機(jī)程序軟件進(jìn)行動(dòng)態(tài)參數(shù)篩選匹配、編號(hào),裝配時(shí)按其號(hào)碼順序裝配,很間單。每一只元件上都刻有字,以便下更換時(shí)參考。這樣能使均流系數(shù)可達(dá)到。IGBT在開通過程中,大部分時(shí)間是作為MOSFET來運(yùn)行的。天津優(yōu)勢(shì)Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
目前,為了防止高dV/dt應(yīng)用于橋式電路中的IGBT時(shí)產(chǎn)生瞬時(shí)集電極電流,設(shè)計(jì)人員一般會(huì)設(shè)計(jì)柵特性是需要負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)的IGBT。然而提供負(fù)偏置增加了電路的復(fù)雜性,也很難使用高壓集成電路(HVIC)柵驅(qū)動(dòng)器,因?yàn)檫@些IC是專為接地操作而設(shè)計(jì)──與控制電路相同。因此,研發(fā)有高dV/dt能力的IGBT以用于“單正向”柵驅(qū)動(dòng)器便為理想了。這樣的器件已經(jīng)開發(fā)出來了。器件與負(fù)偏置柵驅(qū)動(dòng)IGBT進(jìn)行性能表現(xiàn)的比較測(cè)試,在高dV/dt條件下得出優(yōu)越的測(cè)試結(jié)果。為了理解dV/dt感生開通現(xiàn)象,我們必須考慮跟IGBT結(jié)構(gòu)有關(guān)的電容。圖1顯示了三個(gè)主要的IGBT寄生電容。集電極到發(fā)射極電容C,集電極到柵極電容C和柵極到發(fā)射極電容CGE。圖1IGBT器件的寄生電容這些電容對(duì)橋式變換器設(shè)計(jì)是非常重要的,大部份的IGBT數(shù)據(jù)表中都給出這些參數(shù):輸出電容,COES=CCE+CGC(CGE短路)輸入電容,CIES=CGC+CGE(CCE短路)反向傳輸電容,CRES=CGC圖2半橋電路圖2給出了用于多數(shù)變換器設(shè)計(jì)中的典型半橋電路。集電極到柵極電容C和柵極到發(fā)射極電容C組成了動(dòng)態(tài)分壓器。當(dāng)IGBT(Q2)開通時(shí),低端IGBT(Q1)的發(fā)射極上的dV/dt會(huì)在其柵極上產(chǎn)生正電壓脈沖。對(duì)于任何IGBT。山西本地Mitsubishi三菱IGBT模塊工廠直銷一是開關(guān)速度,主要指標(biāo)是開關(guān)過程中各部分時(shí)間;另一個(gè)是開關(guān)過程中的損耗。
步驟二、在所述半導(dǎo)體襯底中形成多個(gè)溝槽。步驟三、在各所述溝槽的底部表面和側(cè)面形一介質(zhì)層,之后再在各所述溝槽中填充一多晶硅層,將所述一多晶硅層回刻到和所述半導(dǎo)體襯底表面相平。步驟四、采用光刻工藝將柵極結(jié)構(gòu)的形成區(qū)域打開,將所述柵極結(jié)構(gòu)的形成區(qū)域的所述溝槽頂部的所述一多晶硅層和所述一介質(zhì)層去除。步驟五、在所述柵極結(jié)構(gòu)的形成區(qū)域的所述溝槽的頂部側(cè)面形成柵介質(zhì)層以及所述一多晶硅層的頂部表面形成多晶硅間介質(zhì)層。步驟六、在所述柵極結(jié)構(gòu)的形成區(qū)域的所述溝槽的頂部填充第二多晶硅層,由所述第二多晶硅層組成多晶硅柵;所述多晶硅柵底部的所述一多晶硅層為一屏蔽多晶硅并組成一屏蔽電極結(jié)構(gòu),所述一屏蔽多晶硅側(cè)面的所述一介質(zhì)層為一屏蔽介質(zhì)層。在所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述溝槽中的所述一多晶硅層為第二屏蔽多晶硅并組成第二屏蔽電極結(jié)構(gòu),所述第二屏蔽多晶硅側(cè)面的所述一介質(zhì)層為第二屏蔽介質(zhì)層。一個(gè)所述igbt器件的單元結(jié)構(gòu)中包括一個(gè)所述柵極結(jié)構(gòu)以及形成于所述柵極結(jié)構(gòu)兩側(cè)的所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu),在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括至少一個(gè)所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。步驟七、在所述漂移區(qū)表面依次形成電荷存儲(chǔ)層和第二導(dǎo)電類型摻雜的阱區(qū)。
附圖說明圖1為本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖;圖2為本發(fā)明限壓電路結(jié)構(gòu)示意圖。圖中:100限壓電路、110一齊納二極管、120第二齊納二極管、200控制電路、300限流電路。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖,對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例是本發(fā)明一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒景l(fā)明中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。本發(fā)明提供一種igbt驅(qū)動(dòng)電路,將分立器件實(shí)現(xiàn)的限壓電路集成在芯片中,節(jié)省了面積,降低了成本,將限壓電路與igbt的驅(qū)動(dòng)電路結(jié)合在一個(gè)功能塊里進(jìn)一步節(jié)省了面積和成本,同時(shí)借助igbt的驅(qū)動(dòng)電路中的電阻限制了限壓支路的電流,降低了功耗,保護(hù)了驅(qū)動(dòng)芯片的安全,請(qǐng)參閱圖1,包括限壓電路100、控制電路200和限流電路300;請(qǐng)參閱圖1-2,限壓電路100包括:一齊納二極管110;第二齊納二極管120與一齊納二極管110串聯(lián),兩個(gè)齊納二極管的選擇由驅(qū)動(dòng)輸出限壓的大小決定;請(qǐng)?jiān)俅螀㈤唸D1,控制電路200包括限壓電路控制輸入lp、電阻r2、下拉電阻r3和控制管n3,限壓電路控制輸入lp與電阻r2串聯(lián),電阻r2與控制管n3相串聯(lián)。電動(dòng)汽車概念也火的一塌糊涂,三菱推出了650V等級(jí)的IGBT,專門用于電動(dòng)汽車行業(yè)。
增加電力網(wǎng)的穩(wěn)定,然后由逆變器將直流高壓逆變?yōu)?0HZ三相交流。直流——交流中頻加熱和交流電動(dòng)機(jī)的變頻調(diào)速、串激調(diào)速等變頻,交流——頻率可變交流四、斬波調(diào)壓(脈沖調(diào)壓)斬波調(diào)壓是直流——可變直流之間的變換,用在城市電車、電氣機(jī)車、電瓶搬運(yùn)車、鏟車(叉車)、電氣汽車等,高頻電源用于電火花加工。五、無觸點(diǎn)功率靜態(tài)開關(guān)(固態(tài)開關(guān))作為功率開關(guān)元件,代替接觸器、繼電器用于開關(guān)頻率很高的場(chǎng)合晶閘管導(dǎo)通條件:晶閘管加上正向陽極電壓后,門極加上適當(dāng)正向門極電壓,使晶閘管導(dǎo)通過程稱為觸發(fā)。晶閘管一旦觸發(fā)導(dǎo)通后,門極就對(duì)它失去控制作用,通常在門極上只要加上一個(gè)正向脈沖電壓即可,稱為觸發(fā)電壓。門極在一定條件下可以觸發(fā)晶閘管導(dǎo)通,但無法使其關(guān)斷。要使導(dǎo)通的晶閘管恢復(fù)阻斷,可降低陽極電壓,或增大負(fù)載電阻,使流過晶閘管的陽極電流減小至維持電流(IH)(當(dāng)門極斷開時(shí),晶閘管從較大的通態(tài)電流降至剛好能保持晶閘管導(dǎo)通所需的小陽極電流叫維持電流),電流會(huì)突然降到零,之后再提高電壓或減小負(fù)載電阻,電流不會(huì)再增大,說明晶閘管已恢復(fù)阻斷。根據(jù)晶閘管陽極伏安特性,可以總結(jié)出:1.門極斷開時(shí)。封裝后的IGBT模塊直接應(yīng)用于變頻器、UPS不間斷電源等設(shè)備上。黑龍江常見Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠家
它與MOSFET的轉(zhuǎn)移特性相同,當(dāng)柵源電壓小于開啟電壓Ugs(th)時(shí),IGBT處于關(guān)斷狀態(tài)。天津優(yōu)勢(shì)Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠
所述阱區(qū)形成于所述漂移區(qū)表面的所述硅外延層中。進(jìn)一步的改進(jìn)是,令各所述第二屏蔽多晶硅頂部對(duì)應(yīng)的接觸孔為屏蔽接觸孔。在各所述單元結(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔和鄰近的一個(gè)所述屏蔽接觸孔合并成一個(gè)接觸孔,鄰近的所述屏蔽接觸孔外側(cè)的所述屏蔽接觸孔呈結(jié)構(gòu)?;蛘撸诟魉鰡卧Y(jié)構(gòu)中,所述源極接觸孔和各所述屏蔽接觸孔連接成一個(gè)整體結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的改進(jìn)是,所述一屏蔽介質(zhì)層和所述第二屏蔽介質(zhì)層的工藝條件相同且同時(shí)形成,所述一屏蔽多晶硅和所述第二屏蔽多晶硅的工藝條件相同且同時(shí)形成。進(jìn)一步的改進(jìn)是,一個(gè)所述單元結(jié)構(gòu)中包括5個(gè)所述溝槽,在所述柵極結(jié)構(gòu)的每一側(cè)包括二個(gè)所述第二屏蔽電極結(jié)構(gòu)。進(jìn)一步的改進(jìn)是,所述溝槽的步進(jìn)為1微米~3微米。進(jìn)一步的改進(jìn)是,在所述漂移區(qū)和所述集電區(qū)之間形成有由一導(dǎo)電類型重?fù)诫s區(qū)組成的電場(chǎng)中止層。進(jìn)一步的改進(jìn)是,所述igbt器件為n型器件,一導(dǎo)電類型為n型,第二導(dǎo)電類型為p型;或者,所述igbt器件為p型器件,一導(dǎo)電類型為p型,第二導(dǎo)電類型為n型。為解決上述技術(shù)問題,本發(fā)明提供的igbt器件的制造方法包括如下步驟:步驟一、提供一半導(dǎo)體襯底,在所述半導(dǎo)體襯底表面形成由一導(dǎo)電類型輕摻雜區(qū)組成的漂移區(qū)。天津優(yōu)勢(shì)Mitsubishi三菱IGBT模塊銷售廠