0)你可能關(guān)注的文檔：·江蘇省鎮(zhèn)江市鎮(zhèn)江中學(xué)2017屆***學(xué)期期末調(diào)研-數(shù)學(xué)答案.doc·江蘇省鎮(zhèn)江市鎮(zhèn)江中學(xué)2017屆***學(xué)期期末調(diào)研-物理答案.doc·江蘇省鎮(zhèn)江市鎮(zhèn)江中學(xué)2017屆***學(xué)期期末調(diào)研-語文答案.doc·基于DSP的低壓無功補(bǔ)償裝置的研制.pdf·漢語言文學(xué)基礎(chǔ).pdfQualityisourmessage富士IGBT模塊應(yīng)用手冊(cè)富士電機(jī)電子設(shè)備技術(shù)株式會(huì)社2004年5月RCH984目錄目錄第1章構(gòu)造與特征1.元件的構(gòu)造與特征1-22.富士電機(jī)電子設(shè)備技術(shù)的IGBT1-33.通過控制門極阻斷過電流1-54.限制過電流功能1-65.模塊的構(gòu)造、搬運(yùn)上的注意事項(xiàng)3-59.其他實(shí)際使用中的注意事項(xiàng)3-5第4章發(fā)生故障時(shí)的應(yīng)對(duì)方法1.發(fā)生故障時(shí)的應(yīng)對(duì)方法4-12.故障的判定方法4-73.典型故障及其應(yīng)對(duì)方法4-8第5章保護(hù)電路設(shè)計(jì)方法1.短路（過電流）保護(hù)5-22.過電壓保護(hù)5-6第6章散熱設(shè)計(jì)方法1.發(fā)生損耗的計(jì)算方法6-22.散熱器?？梢钥刂齐娏骱碗妷?，可以提供高效的電力控制。上海模塊零售價(jià)

    圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的溝槽柵結(jié)構(gòu)制作方法的流程圖。圖中：1為多晶硅層，2為氧化層，21為***氧化層，22為第二氧化層，23為**氧化層，3為光刻膠。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例**是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。圖4示出了本實(shí)施例提供的一種溝槽柵igbt示意圖，包括半導(dǎo)體襯底和設(shè)置在半導(dǎo)體襯底表面內(nèi)的兩個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)，兩個(gè)溝槽柵結(jié)構(gòu)對(duì)稱，溝槽柵結(jié)構(gòu)設(shè)置有多晶硅層1和包圍多晶硅層1的氧化層2，氧化層包括***氧化層21和第二氧化層22，***氧化層21設(shè)置在溝道區(qū)，第二氧化層22設(shè)置在非溝道區(qū)，第二氧化層22的厚度大于***氧化層21的厚度，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)施例提供的溝槽柵igbt氧化層2的厚度大于現(xiàn)有技術(shù)中的厚度，因此本實(shí)施例的結(jié)電容更小。需要說明的是，本實(shí)施例減小結(jié)電容的方式是通過增加溝槽內(nèi)非溝道區(qū)第二氧化層22的厚度，***氧化層21厚度不變，因此本實(shí)施例在減小結(jié)電容的同時(shí)并不會(huì)造成器件整體性能變差。北京哪些是模塊量大從優(yōu)雖然IGBT聽著**，但基本上用電的地方都有IGBT的身影。

    作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步方案：所述變壓器隔離電路采用高頻隔離變壓器，其副邊有兩個(gè)**的繞組，輸出兩路隔離電源。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型能夠有效保護(hù)igbt模塊，并且該實(shí)用新型原邊電路集成了死區(qū)電路、互鎖電路和保護(hù)電路，可以提高抗干擾能力，提高驅(qū)動(dòng)電路可靠性。附圖說明圖1為本實(shí)用新型涉及的風(fēng)電變流器驅(qū)動(dòng)電路示意圖。圖2為本實(shí)用新型涉及的風(fēng)電變流器的具體驅(qū)動(dòng)電路。具體實(shí)施方式下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例**是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。請(qǐng)參閱圖1-2，實(shí)施例1：本實(shí)用新型實(shí)施例中，風(fēng)電變流器的igbt驅(qū)動(dòng)電路，包括原邊電路、隔離電路和副邊電路，原邊電路包括死區(qū)電路、互鎖電路、保護(hù)電路、15v電源輸入濾波電路和dc/dc電路，隔離電路包括變壓器隔離電路和光耦隔離電路，副邊電路包括±15v驅(qū)動(dòng)電源、驅(qū)動(dòng)電路和vce-sat檢測(cè)電路。原邊電路包括上下管的死區(qū)電路、互鎖電路和保護(hù)電路。

    該第二氧化層22的厚度為3000-5000a(如圖5c所示)，根據(jù)應(yīng)用端對(duì)器件的開關(guān)特性需求，可以對(duì)第二氧化層22的厚度進(jìn)行調(diào)節(jié)；s102：沉積光刻膠3(如圖5d所示)；s104：去除溝道區(qū)的光刻膠3，保留非溝道區(qū)的光刻膠3，從而保護(hù)溝槽內(nèi)非溝道區(qū)的第二氧化層22不被蝕刻；s105：對(duì)第二氧化層22進(jìn)行蝕刻(如圖5f所示)，然后去除溝槽內(nèi)非溝道區(qū)保留的光刻膠3(如圖5g所示)；s106：在溝槽內(nèi)沉積***氧化層21(如圖5h所示)；s107:沉積多晶硅層(如圖5i所示)，然后去除表面多余多晶硅層(如圖5j所示)。需要說明的是，本實(shí)施例提供的制作方法形成兩種厚度氧化層2沒有新增光刻流程，從而節(jié)省了光罩制作成本。綜上，本實(shí)施例提供的溝槽柵igbt及其制作方法可以降低現(xiàn)有技術(shù)中結(jié)構(gòu)的結(jié)電容大小、提高了器件的開關(guān)特性，從而使得本實(shí)用新型可以應(yīng)用于高頻場(chǎng)景。盡管已經(jīng)示出和描述了本實(shí)用新型的實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，可以理解在不脫離本實(shí)用新型的原理和精神的情況下可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行多種變化、修改、替換和變型，本實(shí)用新型的范圍由所附權(quán)利要求及其等同物限定。反之，加反向門極電壓消除溝道，切斷基極電流，使IGBT關(guān)斷。

    死區(qū)電路的作用是：實(shí)現(xiàn)上下管驅(qū)動(dòng)信號(hào)有一定的時(shí)間間隔td，例如上管驅(qū)動(dòng)信號(hào)關(guān)閉后，需要等待td延時(shí)后才能開通下管驅(qū)動(dòng)信號(hào)；互鎖電路的作用是：上下管驅(qū)動(dòng)信號(hào)不能同時(shí)為有效，避免產(chǎn)生上下管驅(qū)動(dòng)直通信號(hào)；保護(hù)電路的作用是：當(dāng)副邊出現(xiàn)故障信號(hào)是，保護(hù)電路能夠同時(shí)關(guān)閉上下管驅(qū)動(dòng)信號(hào)。15v電源輸入濾波電路的作用是：對(duì)輸入15v電源進(jìn)行濾波，維持15v電源的穩(wěn)定并且降低emc干擾。dc/dc電路的的作用是：15v電源高頻脈寬調(diào)制dc/dc。隔離電路包括：驅(qū)動(dòng)光耦、反饋光耦和隔離變壓器。驅(qū)動(dòng)光耦的作用是：傳遞原邊驅(qū)動(dòng)信號(hào)給副邊電路，電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。反饋光耦的作用是：傳遞副邊故障信號(hào)給原邊電路，電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。隔離變壓器的作用是：輸出上下管驅(qū)動(dòng)電源，電氣隔離原邊低壓側(cè)和副邊高壓側(cè)。副邊電路包括：±15v電源、驅(qū)動(dòng)電路、vce-sat檢測(cè)電路。±15v電源的作用是：輸出igbt模塊所推薦的驅(qū)動(dòng)電源。驅(qū)動(dòng)電路的作用是：副邊驅(qū)動(dòng)信號(hào)放大，推挽輸出。vce-sat檢測(cè)電路的作用是：檢測(cè)igbt模塊退飽和或過流信號(hào)，故障信號(hào)反饋給原邊。vce-sat檢測(cè)電路分別連接igbt模塊、驅(qū)動(dòng)電路和光耦隔離電路。可以控制電機(jī)、變頻器、變壓器、電源、電抗器等電力電子設(shè)備。安徽模塊裝潢

當(dāng)前市場(chǎng)上銷售的多為此類模塊化產(chǎn)品，一般所說的IGBT也指IGBT模塊。上海模塊零售價(jià)

    ○觸發(fā)板也可接入直流3V電壓和分流器75mV反饋信號(hào)進(jìn)行直流負(fù)載的恒電流和恒電壓控制。（請(qǐng)通過JP1和JP3跳線選擇短接S4和S6進(jìn)行直流閉環(huán)控制）?！鹩|發(fā)板可跟據(jù)不同要求場(chǎng)合取樣。觸發(fā)板還可以與單片機(jī)及相應(yīng)檢測(cè)傳感器組成外閉環(huán)自動(dòng)控制系統(tǒng)。2．可選擇三種的輸入模式：○4-20mA輸入。通過JP4跳線選擇短接S1。○0-10V輸入。通過JP4跳線選擇短接S2。○0-5V輸入。通過JP4跳線選擇短接S3。3．可外接溫控保護(hù)開關(guān)和復(fù)位開關(guān)：（請(qǐng)參考接線圖）。4．軟啟動(dòng)調(diào)節(jié)：觸發(fā)板可通過VR3可調(diào)電阻設(shè)置調(diào)節(jié)軟啟動(dòng)的時(shí)間，順時(shí)針方向調(diào)節(jié)為啟動(dòng)時(shí)間更長(zhǎng)。5．限流限壓保護(hù)：觸發(fā)板通過調(diào)節(jié)VR2設(shè)置限電流和限電壓門檻值，順時(shí)針方向調(diào)節(jié)為低。（如使用限壓功能請(qǐng)短接JP2跳線，不用此功能時(shí)斷開即可）。6．過流過壓保護(hù)：觸發(fā)板通過調(diào)節(jié)VR1設(shè)置過電流和過電壓門檻值，順時(shí)針方向調(diào)節(jié)為低。五、異常狀態(tài)排除法1、在較小的輸入控制信號(hào)時(shí)SCR接近100%輸出：○可能觸發(fā)器在閉環(huán)工作模式狀態(tài)下，沒有接入反饋信號(hào)，導(dǎo)致觸發(fā)器積分系統(tǒng)誤判，請(qǐng)接入閉環(huán)反饋信號(hào)。○觸發(fā)器在閉環(huán)工作模式時(shí)，負(fù)載電流過小。○檢查反饋信號(hào)是否接正確。2、SCR無輸出，無電流或電壓：○面板PW指示燈不亮，SCR無法工作。上海模塊零售價(jià)

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