半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)設(shè)備是指通過(guò)機(jī)器自動(dòng)搬運(yùn)，將晶圓從工序A的晶圓盒子或容器中移動(dòng)道工序B的晶圓盒子或容器中。在這個(gè)過(guò)程中，晶圓儲(chǔ)片盒或容器中的晶圓被高速地、清潔地搬運(yùn)和處理。狹義來(lái)說(shuō)，半導(dǎo)體晶圓搬運(yùn)設(shè)備只指單一半導(dǎo)體自動(dòng)搬運(yùn)機(jī)器，廣義來(lái)說(shuō)半導(dǎo)體搬運(yùn)設(shè)備應(yīng)當(dāng)為半導(dǎo)體自動(dòng)物料搬運(yùn)系統(tǒng)。半導(dǎo)體晶圓廠按功能不同可分為兩種型態(tài)，一為晶圓代工(Foundry Fab)，其生產(chǎn)策略為客戶(hù)下單后按其交貨期來(lái)投片。另一為單一產(chǎn)品如DRAM、SRAM廠，生產(chǎn)策略為大量投片，大量產(chǎn)出。不論是哪種晶圓生產(chǎn)廠，其晶圓生產(chǎn)的流程和生產(chǎn)區(qū)域部件基本一致。這些流程經(jīng)過(guò)不斷重復(fù)加工，直至完成產(chǎn)品，在經(jīng)過(guò)電性測(cè)試合格后，出貨給下游客戶(hù)。在重復(fù)的過(guò)程中，各個(gè)環(huán)節(jié)之間晶圓運(yùn)輸?shù)母咝Ш蜐崈魧?duì)成品的品質(zhì)影響巨大。設(shè)備搬運(yùn)要根據(jù)設(shè)備的重心位置合理安排著力點(diǎn)。云南醫(yī)療器械設(shè)備搬運(yùn)公司

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