LFSLFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。該傳感器直接放置在地板上，并與標(biāo)準(zhǔn)AVI/LP系統(tǒng)結(jié)合使用在前饋環(huán)路中，以提高非常低頻率的振動(dòng)隔離。LFS可以改裝為現(xiàn)有的AVI-LP系統(tǒng)。LFS-3的設(shè)計(jì)、制造和測(cè)試均符合測(cè)量和控制設(shè)備的安全規(guī)定，并滿足EEC指令73/23的相關(guān)要求。系統(tǒng)符合EEC指令89/336（電磁兼容性）每個(gè)單獨(dú)的AVI元件必須連接到傳感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的實(shí)際位置并不重要，但它當(dāng)然必須放置在支持AVI單元的同一表面上。將AVI單元的上D-Sub15插座（診斷插座）連接到傳感器。傳感器LFS-3有一個(gè)單獨(dú)的電源，通過(guò)D-Sub25插座連接到LFS-3控制單元。光刻機(jī)隔振臺(tái)電子顯微鏡STM

LFS控制單元上的每個(gè)D-Sub15插座都有4個(gè)對(duì)應(yīng)于AVI元件的開(kāi)關(guān)輸出，這些AVI元件以任意4個(gè)矩形方向（即平行或直角）放置，不允許其他方向。面向LFS傳感器的藍(lán)色LED直立。將弟一個(gè)AVI元件連接到后面板上的12個(gè)D-Sub15插座中的任何一個(gè)。使用筆在位置A和D之間滑動(dòng)開(kāi)關(guān)。傳感器的位置:傳感器可以移動(dòng)到任何所需位置。它可能位于負(fù)載下方或外部，但必須位于支持AVI元件的同一表面上。連接后，傳感器與AVI單元的方向必須保持不變。支承面剛度:支承面的剛度很重要。水平傳感器無(wú)法區(qū)分水平加速度和傾斜。因此，LFS和AVI元件所在的支承面必須盡可能堅(jiān)硬，以便在附近移動(dòng)時(shí)不會(huì)明顯傾斜。傾斜將導(dǎo)致傳感器輸出飽和，隔離將失效。原子力顯微鏡AFM隔振臺(tái)電子顯微鏡STMTS-140的高度只有84毫米。

TS-150安全守則?只能將系統(tǒng)插入具有單獨(dú)接地的插座。不要斷開(kāi)此連接通過(guò)插座或使用不接地的延長(zhǎng)線接地。?在打開(kāi)本設(shè)備之前，請(qǐng)確保已將其連接到正確的電源電壓。?請(qǐng)勿卸下任何蓋子或讓任何金屬物體進(jìn)入設(shè)備的任何開(kāi)口。?請(qǐng)勿拆卸或嘗試維修系統(tǒng)。這可能會(huì)導(dǎo)致電擊或損壞到系統(tǒng)。?卸下任何主機(jī)蓋之前，請(qǐng)先斷開(kāi)電源。請(qǐng)把維修交給合格的人員。?請(qǐng)勿在有BZ危險(xiǎn)的環(huán)境中使用。?請(qǐng)勿在頂板上鉆任何孔。這會(huì)損壞系統(tǒng)。?如果您懷疑系統(tǒng)有任何不安全之處，請(qǐng)拔下電源插頭并防止可能發(fā)生的意外事故用法。請(qǐng)與您蕞近的服務(wù)中心聯(lián)系。

AVI400-XLAVI400-XL的基本配置包括兩個(gè)緊湊型隔振模塊和一個(gè)控制單元，最大負(fù)載為800公斤。通過(guò)增加緊湊型單元的數(shù)量，可以輕松實(shí)現(xiàn)對(duì)更高負(fù)載的支持。為了使AVI400-M適應(yīng)用戶特定的應(yīng)用，可以使用不同長(zhǎng)度的緊湊型裝置。AVI400-XL的隔離始于1,2Hz，超過(guò)10HZ以上迅速增加至35db減少低頻諧振可得到比普通的被動(dòng)空氣阻尼系統(tǒng)更好的性能AVI400-XL系統(tǒng)固有的剛性賦予其出色的方向性和位置穩(wěn)定性AVI400-XL的出色性能包括所有六個(gè)方向水平和垂直振動(dòng)模式AVI400-XL緊湊型裝置不需要任何大型安裝工具。我們努力提供一種簡(jiǎn)單，友好的概念-因此，在裝置上放置沉重的設(shè)備（例如SEM）時(shí)，避免了任何復(fù)雜的過(guò)程。技術(shù)指標(biāo)：頻率：：0-800公斤（單個(gè)）：400公斤。TS系統(tǒng)的固有剛度賦予其出色的方向和位置穩(wěn)定性。

關(guān)鍵詞：主動(dòng)式隔震臺(tái)、主動(dòng)式隔振臺(tái)、主動(dòng)式防振臺(tái)、防振臺(tái)、AVI、Herz、Tablestable、·AVI系列振動(dòng)傳遞率橫坐標(biāo)為頻率，縱坐標(biāo)為傳遞率的數(shù)據(jù)，在10hz頻率以上時(shí)，傳遞率的數(shù)據(jù)小于0.02，很好地起到了隔振作用。AVI承載不同重量時(shí)不同方向上振動(dòng)衰減的數(shù)據(jù)（實(shí)驗(yàn)室實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)）垂直方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI-400XLP隔振臺(tái)輪廓儀防震臺(tái)應(yīng)用

LFS傳感器在三個(gè)軸上測(cè)量水平和垂直加速度，直到頻率約為0.2Hz。光刻機(jī)隔振臺(tái)電子顯微鏡STM

水平X軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。水平Y(jié)軸方向上的振動(dòng)傳遞衰減，在承重時(shí)10hz的頻率以上時(shí)，蕞大可以達(dá)到-40dB的衰減。隔振效率可以達(dá)到99%以上的效果。10Hz以上的頻率正常情況下是30dB到40dB的衰減。AVI系列產(chǎn)品在振動(dòng)加速度上的隔振效果。如果想要了解更多信息請(qǐng)聯(lián)系我們岱美儀器?；蛘咴L問(wèn)我們的官網(wǎng)。光刻機(jī)隔振臺(tái)電子顯微鏡STM