HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性：在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中，光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個(gè)工藝環(huán)節(jié)，涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量，涂膠工藝顯得更為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的，而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的，這造成光刻膠和硅片的黏合性較差，尤其是正膠，顯影時(shí)顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處，容易造成*條、浮膠等，導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗，同時(shí)濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況，常州無塵工業(yè)烤箱。將HMDS涂到硅片表面后，經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物，常州無塵工業(yè)烤箱，常州無塵工業(yè)烤箱。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷�，其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合，起著偶聯(lián)劑的作用。單門精密紅外線烤箱。常州無塵工業(yè)烤箱

一、設(shè)計(jì)依據(jù)：烘烤線設(shè)計(jì)說明：1.工件烘烤（1）爐體採用天然氣燃燒後進(jìn)行加熱，爐體尺寸以托盤的工件尺寸規(guī)劃（2）爐體採用輥筒輸送，爐體加熱段設(shè)計(jì)連續(xù)烘烤。（3）爐體加熱段採用150°C，2.輸送爐輸送方式為載重型雙鏈滾筒輸送，滾筒表面鍍鋅處理。3.爐內(nèi)滾筒輸送線總長：37米；動力分為6段，每段長度大約6.1左右。（動力分段以后續(xù)實(shí)際設(shè)計(jì)為準(zhǔn)）4.傳動採用步進(jìn)式驅(qū)動：電機(jī)配合減速機(jī)一體式；5.烤爐側(cè)板為巖棉板，價(jià)格低，施工快，120K,t=150mm，溫度為150度，熱風(fēng)迴圈方式.5.加熱方式為燃?xì)馊紵龣C(jī)加熱。（日本正英公司是燃燒技術(shù)領(lǐng)域的企業(yè)之一，主要產(chǎn)品包括燃?xì)狻⑷加图半p燃料燃燒器及相關(guān)附件，功率范圍為12至17500千瓦。）二、設(shè)計(jì)目標(biāo)：本步進(jìn)式砂芯烘烤爐主要承擔(dān)工件的烘乾等工序作業(yè)，整個(gè)設(shè)備設(shè)計(jì)成熟在原先樣機(jī)的基礎(chǔ)上會做的更好，在有限的場地，能滿足客戶對於產(chǎn)能、溫度、時(shí)間的要求，同時(shí)工人操作條件安全良好，建成後可達(dá)到同期國內(nèi)同類產(chǎn)品的先進(jìn)水準(zhǔn)。工業(yè)園區(qū)無塵工業(yè)烤箱出售干燥爐及隧道爐生產(chǎn)廠家。

六、安全保護(hù)系統(tǒng)1.空氣開關(guān)（防止過流和短路）2.電機(jī)過流過熱保護(hù)3.超溫保護(hù)（防止工作室溫度過高，保護(hù)產(chǎn)品），報(bào)警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強(qiáng)烈的振動和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務(wù)必接地4.不能在箱內(nèi)烘烤易燃易爆物品，可燃?xì)怏w及性物品八、其它1.保固期：整機(jī)1年(天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修)。電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。2.出貨文件：機(jī)器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機(jī)臺的操作說明書（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡易故障的排除）。

環(huán)境條件環(huán)境溫度-5℃-45℃相對濕度≤85%RH安裝場地烘箱左右后側(cè)距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供**的配電開關(guān)并負(fù)責(zé)設(shè)備外部的電源連接。周圍無強(qiáng)烈的振動和氣流存在，不含鹽分氣體、有毒及腐蝕性氣體，沒有導(dǎo)電性塵埃。沒有影響裝置使用的磁界及沒有沖擊和震動。電源AC380V±5%，50Hz三相五線其他保固期整機(jī)1年（天災(zāi)、電力異常、人為使用不當(dāng)、保養(yǎng)不當(dāng)造成的損壞外，本公司完全免費(fèi)維修）。售后電話響應(yīng)時(shí)間1小時(shí)，售后服務(wù)到達(dá)到現(xiàn)場響應(yīng)時(shí)間為24小時(shí)。出貨檔機(jī)器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機(jī)臺的操作說明書（含日常維護(hù)保養(yǎng)，簡易故障的排除）。鏈板式輸送隧道烤箱。

安裝和培訓(xùn)：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設(shè)備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設(shè)備匹配的電接口，便于安裝調(diào)試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調(diào)試設(shè)備并交付使用。13-2.培訓(xùn)u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設(shè)備出廠經(jīng)需方預(yù)驗(yàn)收合格。十四、設(shè)備驗(yàn)收：14-1.預(yù)驗(yàn)收u預(yù)驗(yàn)收在供方進(jìn)行。u一般檢查：看設(shè)備的實(shí)物布局是否合理，外觀質(zhì)量與基本功能是否符合技術(shù)要求，設(shè)備的管線連接是否堅(jiān)固。u安全檢查包括：機(jī)械、電器故障顯示、檢測、報(bào)警等各種保護(hù)功能的檢查。u設(shè)備空運(yùn)轉(zhuǎn)檢查：空運(yùn)轉(zhuǎn)6小時(shí)期間不能出故障。14-2.終驗(yàn)收14-2-1.終驗(yàn)收在需方的車間內(nèi)進(jìn)行。設(shè)備到達(dá)需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進(jìn)行調(diào)試，同時(shí)完成終驗(yàn)收工作。14-2-2.終驗(yàn)收的程序如下u同初驗(yàn)收內(nèi)容,設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)間延長至三個(gè)工作日工業(yè)烘箱品牌生產(chǎn)廠家。南通恒溫工業(yè)烤箱維修

精密送風(fēng)循環(huán)隧道烤箱。常州無塵工業(yè)烤箱

材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管�！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。材質(zhì)1.爐膛采用全不銹鋼爐膛，棉保溫，具有升溫快，節(jié)能等特點(diǎn)2.不銹鋼爐膛內(nèi)箱干凈，抗腐蝕，便于清理3.外部采用冷板加烤漆，外觀整潔送風(fēng)系統(tǒng)方式1.專業(yè)的送風(fēng)，排風(fēng)系統(tǒng)，確保爐膛溫度均勻。2.熱風(fēng)循環(huán)溫度均勻，換熱迅速，廢氣帶出及時(shí)。加熱系統(tǒng)溫控器1.采用PID+SSR控制2.多點(diǎn)溫度實(shí)時(shí)監(jiān)測，工作室的溫度工藝容易掌握加熱器◇箱體上部安裝加熱管�！蠹訜峁懿馁|(zhì)為，不銹鋼304加熱器。常州無塵工業(yè)烤箱

昆山臺上品工業(yè)自動化有限公司在同行業(yè)領(lǐng)域中，一直處在一個(gè)不斷銳意進(jìn)取，不斷制造創(chuàng)新的市場高度，多年以來致力于發(fā)展富有創(chuàng)新價(jià)值理念的產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)，在江蘇省等地區(qū)的機(jī)械及行業(yè)設(shè)備中始終保持良好的商業(yè)口碑，成績讓我們喜悅，但不會讓我們止步，殘酷的市場磨煉了我們堅(jiān)強(qiáng)不屈的意志，和諧溫馨的工作環(huán)境，富有營養(yǎng)的公司土壤滋養(yǎng)著我們不斷開拓創(chuàng)新，勇于進(jìn)取的無限潛力，昆山臺上品工業(yè)自動化供應(yīng)攜手大家一起走向共同輝煌的未來，回首過去，我們不會因?yàn)槿〉昧艘稽c(diǎn)點(diǎn)成績而沾沾自喜，相反的是面對競爭越來越激烈的市場氛圍，我們更要明確自己的不足，做好迎接新挑戰(zhàn)的準(zhǔn)備，要不畏困難，激流勇進(jìn)，以一個(gè)更嶄新的精神面貌迎接大家，共同走向輝煌回來！