六、電源裝置1.電壓：三相380V五線制50Hz2.功率/電流：40KW（80A）3.電器組件：采用中國臺灣臺安與中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：由客戶自備七、安全保護系統(tǒng)1.高溫保護系統(tǒng)：當由于外力原因導致溫度失控時，本系統(tǒng)會在超過設定溫度10度時自動停止加熱，從而保護你的產品及機器的安全。2.過流保護系統(tǒng)：當由于外加電壓過高或其它原因導致整機的功率超出正常功率時，本系統(tǒng)會自動斷電保護整機的工控組件不被損壞。八、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相交流380±38V，頻率：50±10Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品九、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常，虎丘區(qū)半導體工業(yè)烤箱電話，虎丘區(qū)半導體工業(yè)烤箱電話、人為使用不當、保養(yǎng)不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現(xiàn)場響應時間為24小時。2，虎丘區(qū)半導體工業(yè)烤箱電話.出貨文件：機器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養(yǎng)，簡易故障的排除）。高溫隧道固化爐燒銀爐�；⑶饏^(qū)半導體工業(yè)烤箱電話

十三、安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日。u安裝調試完成,雙方簽署終驗收合格報告�；⑶饏^(qū)半導體工業(yè)烤箱電話精密送風循環(huán)預熱爐。

二、進出氣口裝置2.爐體出風風路：耐高溫不銹鋼板3.進出氣口：進氣口在后部，口徑50mm，出氣口在上部，口徑50mm，可調整入氣大小三、精度1.溫度范圍：最高溫度300℃2.溫度均勻度：±3℃（空箱恒溫測試）四、溫控系統(tǒng)1.加熱器材質：采用質量電加熱器，3KW；有電阻率高、使用溫度高、使用壽命長的特點，完全**系統(tǒng)，不影響控制線路2.溫度控制器：臺順電腦自動演算單段式控制器+SSR固態(tài)繼電器*1組,溫度傳感器采用KTYPE，精確有保證。3.定時器、恒溫定時器：在0-99h（m）范圍內，爐內溫度達到設定點時即開始計時，當烘烤時間到達設定時間時自動關閉加熱系統(tǒng)，有計時蜂鳴報警五、電源裝置1.電壓：380V，50Hz三相5線2.功率/電流：3.5KW（7A）3.電氣組件：主要電器采用中國臺灣臺安和中國臺灣天得，日本歐姆龍中間繼電器4.電源引線：2.5米

六、安全保護系統(tǒng)1.空氣開關（防止過流和短路）2.電機過流過熱保護3.超溫保護（防止工作室溫度過高，保護產品），報警七、安裝場地要求1.烘箱左右后側距離墻壁不得小于600mm，用戶須提供的配電開關并負責設備外部的電源連接。2.正常工作環(huán)境條件：（1溫度：5℃~45℃（2相對濕度：不大于85%（3周圍無強烈的振動和氣流存在（4電源：三相五線380V，50Hz（5無腐蝕性氣體存在3.請務必接地4.不能在箱內烘烤易燃易爆物品，可燃氣體及性物品八、其它1.保固期：整機1年(天災、電力異常、人為使用不當、保養(yǎng)不當造成的損壞外，本公司完全免費維修)。電話響應時間1小時，售后服務到達到現(xiàn)場響應時間為24小時。2.出貨文件：機器規(guī)格書，儀表操作說明書，電氣圖，機臺的操作說明書（含日常維護保養(yǎng)，簡易故障的排除）。圓型鐘罩燒結爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導管燒結、退火熱處理用。

首先確定烘箱工作溫度。典型的預處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內真空度達到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進行抽真空、充入氮氣的過程，到達設定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達設定時間后，停止充入HMDS藥液，進入保持階段，使硅片充分與HMDS反應。當達到設定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進一步反應。網鏈式還原氣氛隧道爐。常州無塵工業(yè)烤箱維保

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安裝和培訓：13-1.安裝u供方將提供地基圖和水、電接口圖給用戶。u工業(yè)用電：控制柜頂部接頭（一次電電纜線客戶處理，并接線至設備電箱）。u需方安裝現(xiàn)場提供與該設備匹配的電接口，便于安裝調試。u供方在需方現(xiàn)場安裝調試設備并交付使用。13-2.培訓u安裝期間，供方在安裝現(xiàn)場為需方操作者提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急故障的處理程序。u設備出廠經需方預驗收合格。十四、設備驗收：14-1.預驗收u預驗收在供方進行。u一般檢查：看設備的實物布局是否合理，外觀質量與基本功能是否符合技術要求，設備的管線連接是否堅固。u安全檢查包括：機械、電器故障顯示、檢測、報警等各種保護功能的檢查。u設備空運轉檢查：空運轉6小時期間不能出故障。14-2.終驗收14-2-1.終驗收在需方的車間內進行。設備到達需方車間就位后，供方須派專業(yè)人員到需方現(xiàn)場進行調試，同時完成終驗收工作。14-2-2.終驗收的程序如下u同初驗收內容,設備運轉時間延長至三個工作日虎丘區(qū)半導體工業(yè)烤箱電話

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