真空烘箱規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：550mm×(300×3)mm×430mm（W×H×D）2.外尺寸（W*D*H）mm：按實物3.控制器：位于機臺右側(cè)4.門：由左邊往右邊開5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼SUS304#3.0T板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆1.2T，涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，姑蘇區(qū)省電工業(yè)烤箱，環(huán)保無污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9，姑蘇區(qū)省電工業(yè)烤箱.分層：分3層，姑蘇區(qū)省電工業(yè)烤箱，3個不銹鋼烤盤10.門口裝不銹鋼方鋼框20T*W30網(wǎng)鏈?zhǔn)竭�原氣氛隧道爐。姑蘇區(qū)省電工業(yè)烤箱

設(shè)備配置裡，要記得加入HMDS需求：1、流量*，可*進(jìn)入腔體的藥液量；氣體流量計（進(jìn)口的ASERT，型號是0-4000SLM），通過通訊傳輸?shù)絇LC.2、可實現(xiàn)自動調(diào)檔（拋檔內(nèi)容如上次郵件）、自動上、下機，配置霍尼韋爾條碼(可根據(jù)客戶要求選擇品牌)，可掃描PDA上的一維條碼三、安全裝置l溫度過升防止器（設(shè)定上限，保護(hù)被試品和試驗箱體）l電機過負(fù)荷熱繼電器（設(shè)定上限，保護(hù)電機過負(fù)荷）l逆向防止器（確保電機轉(zhuǎn)動方向正確）l動力電流保護(hù)器（設(shè)定上限，保護(hù)電路設(shè)備安全）四、附屬部品（交機時附送）操作說明書電路圖管路圖BOM表清單五、交貨試驗項現(xiàn)場性能確認(rèn)基本模式l溫度上升時間：室溫到150℃是55分鐘內(nèi)。l溫度下降時間及降溫是自然降溫，受外界環(huán)境影響，少5個小時。l確認(rèn)在無負(fù)荷無試樣情況下進(jìn)行。l六點測試位置（使用：日本橫河多點記錄儀）。張家港恒溫工業(yè)烤箱費用步入式精密送風(fēng)循環(huán)烤箱。

一、設(shè)備簡介：1.設(shè)備用途：本設(shè)備為連續(xù)式表面烘干生產(chǎn)線，用于產(chǎn)品制程后的烘干。2.干燥后的產(chǎn)品具有均勻一致的數(shù)據(jù)要求.3.設(shè)計、制造、安裝調(diào)試的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)和相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)：產(chǎn)品在設(shè)計、制造、安裝調(diào)試驗收過程中，按照客戶的要求，在局限的空間和時間做出的性能.總功率：3P380V12KW/H電源：AC380V三相五線控制方式：SSR+PID進(jìn)料高度：120MM爐內(nèi)高度：320MM循環(huán)風(fēng)機：2臺1/2HP二、設(shè)備詳細(xì)需求：1.產(chǎn)品尺寸：用于將高密度聚乙烯片材（寬1.2m*厚1.2mm）運行時預(yù)加熱，片材溫度升高10-20℃左右2.設(shè)備內(nèi)尺寸：W1400*D1500*H1203.設(shè)備外尺寸：W1600*D1500*420

干燥箱DTS-450規(guī)格書一、箱體結(jié)構(gòu)尺寸1.內(nèi)尺寸（W*D*H）mm：450*450*450.外尺寸（W*D*H）mm：約810*720*11203.控制箱：位于機臺底部，方便操作，維修方便4.門、門扣：單門5.內(nèi)膽材質(zhì)：質(zhì)量不銹鋼板6.外箱材質(zhì)：鋼板粉體靜電烤漆（米白色）涂裝采用酸洗脫脂與皮膜處理與采高黏著力液體噴涂7.保溫材質(zhì)：采用質(zhì)量高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃）,保溫性能佳，節(jié)能省電，環(huán)保無污染8.爐門保溫材質(zhì)：高溫耐熱巖棉（最高耐溫700℃），配備硅膠門條，有效防止熱量流失，保持溫度平穩(wěn)，節(jié)能效果佳9.分層：吊桿2支圓型鐘罩燒結(jié)爐 2. 用 途 銅金屬基材熱導(dǎo)管燒結(jié)、退火熱處理用。

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的原理：HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱HMDS預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的一般工作流程：首先確定烘箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序為：打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮氣，充到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空、充入氮氣的過程，到達(dá)設(shè)定的充入氮氣次數(shù)后，開始保持一段時間，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分。然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時間后，再次開始抽真空。充入氮氣，完成整個作業(yè)過程。HMDS與硅片反應(yīng)機理如圖：首先加熱到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表面生成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面。整個反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(三甲基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。電熱鼓風(fēng)烤箱雙開式臺車烤箱。鹽城高溫工業(yè)烤箱出售

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以上圖作為參考示意，實際制作依后續(xù)設(shè)計為準(zhǔn)。兩側(cè)銜接緩沖滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2條1、輸送線支架焊接框架結(jié)構(gòu)，鏈條拖動滾筒輸送方式;2、線體支架采用8#槽鋼支架焊接,表面油漆處理;3、線體橫梁支架8#槽鋼制作，與支架螺絲連接固定。4、輸送滾筒采用鍍鋅滾筒，一端配置雙鏈鏈輪傳動;5、滾筒上安裝導(dǎo)向輪邊，直徑120MM,滾筒間距257MM;6、滾筒之間傳動采用12A滾子鏈條傳動7、輸送寬度:810MM,滾筒總長約960MM;8、動力采用0.37KW齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動，動力布置滾筒下方;9、電機使用歐邦/東元馬達(dá)，馬達(dá)配套減速機使用。10、滾筒線輸送速度約5米/分鐘，可以采用變頻調(diào)速。下圖為參考端面示意圖以上圖作為參考示意，實際制作依后續(xù)設(shè)計為準(zhǔn)。兩端升降滾筒線：1000L*1048W*800-1280H數(shù)量:2套1、升降裝置采用方管焊接框架結(jié)構(gòu)方式。2、升降導(dǎo)向立柱采用80方管，與框架焊接成整體。3、導(dǎo)向輪采用度尼龍輪，強度好耐磨性優(yōu)。4、軸承采用國家質(zhì)量品牌哈爾濱軸承。5、升降采用鏈條升降方式，運行平穩(wěn)。6、升降動力齒輪減速馬達(dá)驅(qū)動。7、輸送線結(jié)構(gòu)同滾筒線輸送線結(jié)構(gòu)。升降裝置樣式參考下圖姑蘇區(qū)省電工業(yè)烤箱

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