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發(fā)布時(shí)間:2024-07-17
由于羅茨泵是一種無(wú)內(nèi)壓縮的真空泵,佛山耐酸真空泵多少錢,通常壓縮比很低,故高,佛山耐酸真空泵多少錢、中真空泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的限真空。為了提高泵的限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之間的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,佛山耐酸真空泵多少錢,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu),上級(jí)與下級(jí)之間均需安裝中壁形成內(nèi)部通道。佛山耐酸真空泵多少錢
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪按順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個(gè)*于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內(nèi)表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部?jī)?nèi)表面剛好與葉片頂端接觸(實(shí)際上葉片在水環(huán)內(nèi)有一定的插入深度)。此時(shí)葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個(gè)月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數(shù)目相等的若干個(gè)小腔。如果以葉輪的上部0°為起點(diǎn),那么葉輪在旋轉(zhuǎn)前180°時(shí)小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時(shí)氣體被吸入,當(dāng)吸氣終了時(shí)小腔則與吸氣口隔絕;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔由大變小,使氣體被壓縮;當(dāng)小腔與排氣口相通時(shí),氣體便被排出泵外;葜葸M(jìn)口無(wú)油真空泵真空泵在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。
分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵,尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速單為同口徑低溫泵抽速的四分之一,所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速,國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃~-150℃的低溫冷板,稱之為低溫分子泵,水蒸汽被低溫板捕獲,其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用,既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展,分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。先,分子泵要從小到大建立完整系列,并研究開發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵,以滿足不同場(chǎng)合的需要。
當(dāng)您選擇油封泵時(shí),您應(yīng)該先了解您的真空系統(tǒng)是否對(duì)油污染有要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無(wú)油時(shí),應(yīng)該選各種無(wú)油泵,如:水環(huán)泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、擋油阱、擋板等,也能達(dá)到清潔真空要求。了解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸汽,有無(wú)顆;覊m,有無(wú)性等。選擇真空泵時(shí),需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。如果氣體中含有蒸汽、顆粒、及性氣體,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備,如冷凝器、除塵器等。真空泵的使用是比較多的。
噴射真空泵是利用液體或者氣體的高速射流攜帶被抽氣體,使被抽容器內(nèi)獲得一定真空度的一種低真空泵。按工作介質(zhì)可分為水噴射泵、大氣噴射泵和水蒸汽噴射泵。噴射泵特點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、工作穩(wěn)定可靠;可抽除含有水蒸汽、粉塵的氣體、易燃易爆氣體和性氣體;抽氣量大,應(yīng)用普遍:冶金、化工、食品制造等領(lǐng)域;缺點(diǎn):抽氣效率低,能量損失大。水噴射泵是用水作為工作介質(zhì),通過高速射流來(lái)引射被抽氣體,使容器達(dá)到一定真空度的粗真空獲得設(shè)備。單級(jí)泵的限壓強(qiáng)為3.3kPa,兩級(jí)串聯(lián)可獲得好一些的真空度,主要受水飽和蒸汽壓的限制。爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性*了其裝配的復(fù)雜性,一般人員很難達(dá)到裝配要求;葜葸M(jìn)口無(wú)油真空泵
真空泵在其工作壓力下,應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。佛山耐酸真空泵多少錢
真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的限真空及工作壓強(qiáng)要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg,比較好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化(詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。佛山耐酸真空泵多少錢