往復泵的結構主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞,活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件,以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時,在電動機的驅動下,通過曲柄連桿機構的作用,使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時,由于氣缸的左腔體積不斷增大,氣缸內氣體的密度減小,泰州電子用真空泵好用嗎,而形成抽氣過程,泰州電子用真空泵好用嗎,此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到比較右位置時,氣缸左腔內就完全充滿了氣體,泰州電子用真空泵好用嗎。接著活塞從右端向左端運動,此時吸氣閥關閉。油擴散泵的比較大出口壓強取決于比較后*噴嘴的工作狀態(tài)。泰州電子用真空泵好用嗎
真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg,比較好能達到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數量級。正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內,泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。濟南食品真空泵真空泵的限壓力應該滿足該工藝的工作壓力。
半導體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間,是指稀薄的氣體狀態(tài),又可分為高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機獲得,它的氣體稀薄程度用真空計測定,現(xiàn)在已能用分子抽氣機和擴散抽氣機得到1*10-14pa大氣壓的高真空。真空技術在芯片制造,太陽能電池片制造,光學膜制造、電真空儀器,電子管和其他電子儀器方面均有普遍應用。普通真空泵,壓強可達到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空; 油泵,壓強可達0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ;擴散泵,壓強可達0.133Pa以下,(10-3mmHg)為“高”真空。
國外干泵市場的不斷增長,其主要驅動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,很好地提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據統(tǒng)計,目前國產干泵的應用還不足1%,國內半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經濟增長點。水環(huán)真空泵的排氣管路不能安裝閥門,以免誤操作讓泵出口帶壓運行。
綜上所述,水環(huán)泵是靠泵腔容積的變化來實現(xiàn)吸氣、壓縮和排氣的,因此它屬于變容式真空泵。水環(huán)真空泵由于用水或其它液體做工作液,所以其抽氣性能及真空度受工作液的溫度影響較大,如果工作液的溫度較高,真空泵的入口真空度達到液體的飽和蒸汽壓,水(液)環(huán)真空泵便會產生氣蝕現(xiàn)象,氣蝕的存在對泵的壽命損害比較大,主要表現(xiàn)為葉輪葉片的根部及排氣圓盤的排氣口附近,有規(guī)則的氣蝕沖擊孔。為了避免氣蝕的產生,可以降低工作液的溫度,或者降低真空泵的使用真空度,限壓力為3300~5000Pa之間。真空泵換油時應將泵體內使用過的油品排盡。鹽城電子真空泵費用
真空泵工作時產生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響?泰州電子用真空泵好用嗎
在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按順時針旋轉時,水被葉輪拋向四周,由于離心力的作用,水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環(huán)。水環(huán)的上部分內表面恰好與葉輪輪轂相切,水環(huán)的下部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環(huán)內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環(huán)之間形成一個月牙形空間,而這一空間又被葉輪分成葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的上部0°為起點,那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大,且與端面上的吸氣口相通,此時氣體被吸入,當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續(xù)旋轉時,小腔由大變小,使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時,氣體便被排出泵外。泰州電子用真空泵好用嗎