日常維護(hù)：1、每日檢查泵的潤(rùn)滑油顏色、油位，若潤(rùn)滑油變臟，多用真空泵廠家、乳化、變稀要及時(shí)排查原因，更換新油，多用真空泵廠家。2、每日檢查后軸承壓蓋溫度，若溫度突然升高要及時(shí)停車檢查，多用真空泵廠家。3、時(shí)刻注意電機(jī)電流，若電流突然升高，要及時(shí)停機(jī)進(jìn)行排查。4、每日檢查冷卻水，出水溫度是否過高，高于55℃是要注意檢查分析原因冷卻水供應(yīng)是否充足。5、真空泵在初次運(yùn)行一個(gè)月后，無論潤(rùn)滑油是否異常，都要進(jìn)行更換。6、被抽氣體中含有可凝性氣體，出口分離器內(nèi)會(huì)有冷凝液積存，注意及時(shí)放，以免停機(jī)時(shí)倒吸進(jìn)入泵腔內(nèi)。7、每次停機(jī)時(shí)要注意觀察螺桿真空泵是否快速返向轉(zhuǎn)動(dòng)超過2秒鐘，如果是，請(qǐng)檢查單向閥是否出現(xiàn)故障。真空泵可以定義為：利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。多用真空泵廠家

按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即變?nèi)菡婵毡煤蛣?dòng)量傳輸泵。變?nèi)菡婵毡檬抢�用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。氣體在排出泵腔前被壓縮。 動(dòng)量傳輸泵（分子真空泵）依靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片或高速射流，把動(dòng)量傳輸給氣體或氣體分子，使氣體連續(xù)不斷地從泵的入口傳輸?shù)匠隹�。變�(nèi)菡婵毡糜址譃椋和鶑?fù)式，旋轉(zhuǎn)式（旋片式、滑閥式、液環(huán)式、羅茨式、螺旋式、爪形轉(zhuǎn)子式），其它型式。國產(chǎn)的各種機(jī)械真空泵的型號(hào)通常是用漢語拼音字母來表示。漢語拼音字母表示泵的類型；字母前的數(shù)字表示泵的級(jí)數(shù)，單級(jí)時(shí)“1”省略；字母后邊橫線后的數(shù)字表示泵的抽速(L/S) �；葜莞稍镎婵毡谜婵毡玫木S護(hù)需要注意什么？

半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得，它的氣體稀薄程度用真空計(jì)測(cè)定，現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的高真空。真空技術(shù)在芯片制造，太陽能電池片制造，光學(xué)膜制造、電真空儀器，電子管和其他電子儀器方面均有普遍應(yīng)用。普通真空泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空； 油泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ；擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為“高”真空。

螺桿真空泵與爪形真空泵的特點(diǎn)對(duì)比：共同點(diǎn)：同為干式真空泵，具備干式真空泵的共同優(yōu)點(diǎn)；對(duì)被抽系統(tǒng)無污染，可獲得潔凈真空泵腔內(nèi)無油，非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)溶劑的回收;結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。單泵即可達(dá)到30Pa~5Pa的限壓力，工作范圍較寬;因工作過程中無廢油、廢水的排放，對(duì)環(huán)境無污染;對(duì)冷卻水的要求較低，對(duì)于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小，根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，可很好地提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。變形也是真空泵零件常見的一種失效模式。

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg，比較好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。變?nèi)菡婵毡檬抢�用泵腔容積的周期變化來完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。多用真空泵廠家

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等。多用真空泵廠家

螺桿真空泵因其排氣通道簡(jiǎn)單，進(jìn)入泵內(nèi)的液體可迅速排出，且軸功率無明顯增加。因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，上級(jí)與下級(jí)之間均需安裝中壁形成內(nèi)部通道，該內(nèi)部通道在抽除粉塵等時(shí)易堵塞且不易清洗；而螺桿真空泵的級(jí)間無需通道，是直接將氣體從吸氣側(cè)推送至排氣側(cè)，在抽除可凝性氣體及粉塵等時(shí)不易堵塞且泵腔清洗非常方便：?jiǎn)��?dòng)泵后直接從泵口充入水或合適的清洗劑即可將泵清洗干凈。其它部分真空泵的特點(diǎn)：水環(huán)式真空泵的優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低，應(yīng)用范圍較寬，適合抽除大量水蒸汽，有機(jī)溶劑等，對(duì)粉塵，顆粒物不敏感，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)易燃易爆的氣體的抽除、壓縮。多用真空泵廠家