國(guó)外干泵市場(chǎng)的不斷增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)來(lái)自于半導(dǎo)體行業(yè)、化學(xué)工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機(jī)械泵，歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商，很好地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵，肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。限壓力從10Pa～10-2Pa，肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。真空泵的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、緊湊，對(duì)被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商

真空泵的工作壓強(qiáng)應(yīng)該滿足真空設(shè)備的限真空及工作壓強(qiáng)要求。如：某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度，選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg，比較好能達(dá)到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設(shè)備工作真空度半個(gè)到一個(gè)數(shù)量級(jí)。正確地選擇真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強(qiáng)范圍，如：2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強(qiáng)范圍760mmHg~25mmHg（絕壓），在這樣寬壓強(qiáng)范圍內(nèi)，泵的抽速隨壓強(qiáng)而變化（詳細(xì)變化情況參照泵的性能曲線），其穩(wěn)定的工作壓強(qiáng)范圍為760~60mmHg。因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)較為適宜，而不能讓它在25~30mmHg下長(zhǎng)期工作。進(jìn)口無(wú)油真空泵報(bào)價(jià)真空泵中抽氣量是真空泵抽速的一個(gè)衡量因素。

螺桿真空泵與爪形真空泵的特點(diǎn)對(duì)比：共同點(diǎn)：同為干式真空泵，具備干式真空泵的共同優(yōu)點(diǎn)；對(duì)被抽系統(tǒng)無(wú)污染，可獲得潔凈真空泵腔內(nèi)無(wú)油，非常容易實(shí)現(xiàn)對(duì)溶劑的回收;結(jié)構(gòu)緊湊，占地面積小。單泵即可達(dá)到30Pa~5Pa的限壓力，工作范圍較寬;因工作過(guò)程中無(wú)廢油、廢水的排放，對(duì)環(huán)境無(wú)污染;對(duì)冷卻水的要求較低，對(duì)于泵的冷卻，普通的循環(huán)水即可滿足要求，且冷卻水量較小，根據(jù)系統(tǒng)工況配用合適的羅茨真空泵可組成干式真空泵機(jī)組，可很好地提高低壓區(qū)的抽氣速率并減小功耗。

鋯鋁吸氣泵采用鋯鋁合金材料在高溫下吸附活性氣體；鋯鋁吸氣泵，優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、體積小、造價(jià)低，操作安全可靠，維修方便，清潔無(wú)油，對(duì)活性氣體，尤其是對(duì)氫具有很高的抽氣能力。缺點(diǎn)：不能抽惰性氣體,鋯鋁吸氣泵對(duì)氫、氘、氚吸氣是可逆的，其他活性氣體則是以穩(wěn)定的化合物形式擴(kuò)散到吸氣劑內(nèi)。鋯鋁吸氣泵的飽和與重啟，鋯鋁吸氣劑長(zhǎng)期在高溫下工作，會(huì)出現(xiàn)“飽和”，吸氣率下降；甚至吸氣劑表面形成氧化膜，失去吸氣性能,當(dāng)吸氣速率降低到80%時(shí)，就需要進(jìn)行再重啟處理：在<1Pa的壓強(qiáng)下，加熱至750~850 ℃ ，使吸氣劑表面的固體氧化膜分解，使金屬和氣體的產(chǎn)物向更深的體內(nèi)擴(kuò)散，生出高度活潑的金屬表面，同時(shí)除去過(guò)量的氫一般的吸氣帶可以反復(fù)重啟多次(~20次)，直到全部的吸氣劑飽和為止一更換鋯鋁合金吸氣帶。變?nèi)菡婵毡檬抢�用泵腔容積的周期變化來(lái)完成吸氣和排氣以達(dá)到抽氣目的的真空泵。

真空泵的限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的限壓力低于工藝要求約一個(gè)數(shù)量級(jí)。每種泵都有一定的工作壓力范圍，因而，泵的工作點(diǎn)應(yīng)該選在這個(gè)范圍之內(nèi)，而不能讓它在允許工作壓力以外長(zhǎng)時(shí)間工作。真空泵在其工作壓力下，應(yīng)能排走真空設(shè)備工藝過(guò)程中產(chǎn)生的全部氣體量。選擇真空機(jī)組：(1) 當(dāng)使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時(shí)，需要幾種泵組合起來(lái)，互相補(bǔ)充才能滿足工藝要求。(2) 有的真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；有的真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來(lái)使用。經(jīng)組合使用的真空泵，我們稱(chēng)之為真空泵機(jī)組，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。我們應(yīng)正確地選擇組合的真空泵，由于不同的真空泵對(duì)抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨－旋片機(jī)組不適用于含有較多可凝性氣體的系統(tǒng)。低溫泵是利用低溫表面將被抽空間的氣體冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附。進(jìn)口無(wú)油真空泵報(bào)價(jià)

真空泵的限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商

分子泵在國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域里的許多工藝場(chǎng)合是用來(lái)代替低溫泵，尤其是濺射、刻蝕和LCVD等裝置都彩 復(fù)合分子泵和牽引泵作為主泵。由于分子泵對(duì)水蒸氣的抽速單為同口徑低溫泵抽速的四分之一，所以分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵長(zhǎng)。為了提高抽速，國(guó)外在分子泵的入口側(cè)裝一個(gè)-130℃～-150℃的低溫冷板，稱(chēng)之為低溫分子泵，水蒸汽被低溫板捕獲，其他氣體則由分子泵抽走。這種低溫分子泵在真空鍍膜裝置上應(yīng)用，既提高了生產(chǎn)效率又改善了膜層質(zhì)量。隨著我國(guó)半導(dǎo)體工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究事業(yè)迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)該是我國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。先，分子泵要從小到大建立完整系列，并研究開(kāi)發(fā)各種復(fù)合分子泵、牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。肇慶小型真空泵經(jīng)銷(xiāo)商