鋯鋁吸氣泵采用鋯鋁合金材料在高溫下吸附活性氣體;鋯鋁吸氣泵,優(yōu)點:結(jié)構(gòu)簡單、體積小、造價低,江門懸臂式真空泵,操作安全可靠,維修方便,清潔無油,對活性氣體,尤其是對氫具有很高的抽氣能力。缺點:不能抽惰性氣體,鋯鋁吸氣泵對氫、氘、氚吸氣是可逆的,其他活性氣體則是以穩(wěn)定的化合物形式擴散到吸氣劑內(nèi)。鋯鋁吸氣泵的飽和與重啟,鋯鋁吸氣劑長期在高溫下工作,會出現(xiàn)“飽和”,吸氣率下降;甚至吸氣劑表面形成氧化膜,失去吸氣性能,當吸氣速率降低到80%時,江門懸臂式真空泵,就需要進行再重啟處理:在<1Pa的壓強下,加熱至750~850 ℃ ,使吸氣劑表面的固體氧化膜分解,使金屬和氣體的產(chǎn)物向更深的體內(nèi)擴散,生出高度活潑的金屬表面,同時除去過量的氫一般的吸氣帶可以反復重啟多次(~20次),直到全部的吸氣劑飽和為止一更換鋯鋁合金吸氣帶,江門懸臂式真空泵。真空泵在其工作壓力下,應能排走真空設備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量。江門懸臂式真空泵
單級單作用液環(huán)泵單級是指只有一個葉輪,單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周,吸氣、排氣各進行一次。這種泵的限真空較高,但抽速和效率較低。 單級雙作用液環(huán)泵單級是指只有一個葉輪,雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周,吸氣、排氣各進行二次。在相同的抽速條件下,雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵很好地減少尺寸和重量。由于工作腔對稱分布于泵輪轂兩側(cè),改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大,效率也較高。雙級液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實質(zhì)上是兩個單級單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點是在較高真空度下,仍然具有較大的抽速,而且工作狀況穩(wěn)定。大氣液環(huán)泵實際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機組。液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高限真空,擴大泵的使用范圍。衢州一體式真空泵真空泵在運轉(zhuǎn)過程中難免會出現(xiàn)磨損的情況。
水環(huán)真空泵,開泵前要進行手動盤車; 進水溫度不能太高,比較好不要超過30℃;工作水硬度盡可能小,否則泵內(nèi)容易結(jié)垢;水環(huán)真空泵的排氣管路不能安裝閥門,以免誤操作讓泵出口帶壓運行;水環(huán)真空泵出口排水管路盡可能低(距泵中心高度不超過一米),防止工作水不能順暢排放,影響泵的性能;水環(huán)泵使用真空要避開氣蝕條件,否則會影響泵的壽命;水環(huán)真空泵的供水管路要加裝手動閥,調(diào)節(jié)泵的供水大。煌1们跋汝P供水閥,讓泵內(nèi)過多的工作水排出;泵的入口加裝單向閥或其它類似閥門,防止停泵時工作水倒灌入系統(tǒng)中;在結(jié)冰的環(huán)境中使用時,停泵后將泵內(nèi)工作水排放徹底,以防結(jié)冰凍裂真空泵。
真空泵的工作壓強應該滿足真空設備的限真空及工作壓強要求。如:某真空干燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選用的真空泵的限真空度至少要2mmHg,比較好能達到1mmHg。通常選擇泵的限真空度要高于真空設備工作真空度半個到一個數(shù)量級。正確地選擇真空泵的工作點。每種泵都有一定的工作壓強范圍,如:2BV系列水環(huán)真空泵工作壓強范圍760mmHg~25mmHg(絕壓),在這樣寬壓強范圍內(nèi),泵的抽速隨壓強而變化(詳細變化情況參照泵的性能曲線),其穩(wěn)定的工作壓強范圍為760~60mmHg。因而,泵的工作點應該選在這個范圍之內(nèi)較為適宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。真空泵的使用是比較多的。
國外干泵市場的不斷增長,其主要驅(qū)動來自于半導體行業(yè)、化學工業(yè)、薄膜產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展。在日本,半導體行業(yè)已全部用干式真空泵代替油封式機械泵,歐美半導體行業(yè)45%以上用干式真空泵代替了油封式機械泵,很好地提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求,國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。限壓力從10Pa~10-2Pa,抽速從20m3/h~500m3/h。據(jù)統(tǒng)計,目前國產(chǎn)干泵的應用還不足1%,國內(nèi)半導體工業(yè)用的干泵全部從國外進口,其價格十分昂貴。所以,我國應大力研究開發(fā)干泵,使干泵成為我國真空工業(yè)新的經(jīng)濟增長點。當使用一種泵不能滿足抽氣及真空要求時,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足工藝要求。江門懸臂式真空泵
真空泵工作時產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響?江門懸臂式真空泵
雖然液環(huán)泵屬于粗真空泵,但在我國的石油、化工、電力、輕紡、造紙、醫(yī)藥等領域仍然有著很大的市場。在國外,液環(huán)泵的銷售額占全部真空泵市場的14%,單次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我國投資建廠或建立銷售網(wǎng)絡,不斷擴大在我國的市場份額。由于液環(huán)泵大部分是鑄件,加工要求也不高,屬勞動密集型產(chǎn)品,所以國產(chǎn)液環(huán)泵在價格上有競爭優(yōu)勢,關鍵是要改進設計,縮小體積,減輕重量,提高效率,降低能耗。低溫泵,低溫泵是利用低溫表面將被抽空間的氣體冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空間的壓強很好地降低,獲得并維持真空狀態(tài)的抽氣裝置,是一種儲存式捕集抽氣,氣體并沒有排出泵外,一旦冷凝表面溫度發(fā)生變化,它抽走的氣體又會重新釋放,破壞真空。應用: (1) 外太空模擬;(2) 高能物理、等離子體研究;(3) 薄膜制備領域;(4) 微電子學,尤其是半導體微電子技術中一一離子注入,離子刻蝕;(5) 現(xiàn)表示面分析儀器中。江門懸臂式真空泵