半導(dǎo)體及電子行業(yè)接觸的真空一般指的是氣壓比一標(biāo)準(zhǔn)大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態(tài)，又可分為高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽氣機(jī)獲得，它的氣體稀薄程度用真空計(jì)測(cè)定，現(xiàn)在已能用分子抽氣機(jī)和擴(kuò)散抽氣機(jī)得到1*10-14pa大氣壓的高真空。真空技術(shù)在芯片制造，太陽(yáng)能電池片制造，光學(xué)膜制造、電真空儀器，電子管和其他電子儀器方面均有普遍應(yīng)用。普通真空泵，壓強(qiáng)可達(dá)到1.333~100kPa(10~760mmHg)為“粗”真空； 油泵，微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)，壓強(qiáng)可達(dá)0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)為“次高”真空 ；擴(kuò)散泵，壓強(qiáng)可達(dá)0.133Pa以下，(10-3mmHg)為“高”真空，微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)。鋯鋁吸氣泵的工作條件，微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)，壓強(qiáng)低于10-3Pa時(shí)，抽活性氣體的工作溫度為400 ℃。微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)

石油，用于抽取液面上方揮發(fā)氣體的泵就是螺桿真空泵。水環(huán)式真空泵的結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單，兩面有兩個(gè)圓盤，旁邊是膜片，中間就是葉輪。水環(huán)式真空泵可用于抽真空、電廠脫硫等。氧化鋁行業(yè)中，由于各種原因離心機(jī)不能用，可以用真空泵對(duì)鋁粉做干燥處理。其實(shí)水環(huán)式真空泵可以當(dāng)壓縮機(jī)，不知道冶金方面是不是這樣的。因?yàn)樗�環(huán)式壓縮機(jī)和水環(huán)式真空泵的原理是一樣的，只不過(guò)在進(jìn)出口、結(jié)構(gòu)方面有些區(qū)別。有些原材料是易燃易爆物品，如氫氣，就可以使用水環(huán)式壓縮機(jī)。由于油氣不能和水混合，所以現(xiàn)在油庫(kù)里油氣的回收使用的就是干泵，如螺桿泵。微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)真空泵的使用是比較多的。

往復(fù)泵的結(jié)構(gòu)主要部件有氣缸及在其中做往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)的活塞，活塞的驅(qū)動(dòng)是用曲柄連桿機(jī)構(gòu)來(lái)完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機(jī)座、曲軸箱、動(dòng)密封和靜密封等輔助部件。運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過(guò)程，此時(shí)被抽容器中的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥5進(jìn)入泵體左腔。當(dāng)活塞達(dá)到比較右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥關(guān)閉。

擴(kuò)散泵的性能：擴(kuò)散泵抽速在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)保持不變，但在壓強(qiáng)較高或很低時(shí)，抽速下降很快。當(dāng)泵入口壓強(qiáng)很低時(shí)，氣體從前級(jí)通過(guò)射流的反擴(kuò)散會(huì)增加，同時(shí)工作油蒸汽的含氣量和泵壁放氣影響變得明顯。入口壓強(qiáng)較高時(shí)，大量氣體分子進(jìn)入射流與蒸汽分子碰撞，射流的定向速度衰減較大，增大了前級(jí)的反流，抽速降低；油擴(kuò)散泵的限壓強(qiáng)與前級(jí)側(cè)氣體的反擴(kuò)散、泵壁溫度下泵油的飽和蒸汽壓、泵油的裂化程度、蒸汽射流的放氣量以及泵壁的放氣量等因素密切相關(guān)，當(dāng)泵的出口壓強(qiáng)小于某一出口壓強(qiáng)p2max時(shí)，泵的入口壓強(qiáng)不受出口壓強(qiáng)的影響，氣體的反擴(kuò)散對(duì)泵的限壓強(qiáng)影響不大。螺桿真空泵因其排氣通道簡(jiǎn)單，進(jìn)入泵內(nèi)的液體可迅速排出，且軸功率無(wú)明顯增加。

單級(jí)單作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，單作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行一次。這種泵的限真空較高，但抽速和效率較低。 單級(jí)雙作用液環(huán)泵單級(jí)是指只有一個(gè)葉輪，雙作用是指葉輪每旋轉(zhuǎn)一周，吸氣、排氣各進(jìn)行二次。在相同的抽速條件下，雙作用液環(huán)泵比單作用液環(huán)泵很好地減少尺寸和重量。由于工作腔對(duì)稱分布于泵輪轂兩側(cè)，改善了作用在轉(zhuǎn)子上的載荷。此種泵的抽速較大，效率也較高。雙級(jí)液環(huán)泵大多是單作用泵串聯(lián)而成。實(shí)質(zhì)上是兩個(gè)單級(jí)單作用的液環(huán)泵的葉輪共用一根心軸聯(lián)接而成。它的主要特點(diǎn)是在較高真空度下，仍然具有較大的抽速，而且工作狀況穩(wěn)定。大氣液環(huán)泵實(shí)際是大氣噴射器串聯(lián)液環(huán)泵的機(jī)組。液環(huán)泵前面串聯(lián)大氣泵是為了提高限真空，擴(kuò)大泵的使用范圍。低溫泵使被抽空間的壓強(qiáng)很好地降低，獲得并維持真空狀態(tài)的抽氣裝置。微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)

真空泵需要注意正確的使用。微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)

爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，每級(jí)泵均應(yīng)嚴(yán)格控制端面間隙，即四級(jí)泵需嚴(yán)格控制8個(gè)端面間隙，泵在運(yùn)行時(shí)的熱膨脹及抽除粉未等時(shí)容易造成泵的故障，另外爪式泵的多級(jí)串聯(lián)的結(jié)構(gòu)特性*了其裝配的復(fù)雜性，一般人員很難達(dá)到裝配要求；因爪形真空泵為多級(jí)串聯(lián)結(jié)構(gòu)，排氣通道復(fù)雜，在抽除可凝性氣體時(shí)（例如：水蒸汽，有機(jī)溶劑氣體等），在泵腔內(nèi)壓縮時(shí)會(huì)產(chǎn)生較多的液體，這部分液體進(jìn)入泵的端面造成泵的負(fù)載明顯變大，四級(jí)爪形真空泵有8個(gè)端面，不宜抽除大量可凝性氣體。微型隔膜真空泵廠家供應(yīng)